聯(lián)合日本科學(xué)與技術(shù)研究所（JST）開發(fā)，并且在多個國家注冊了該項技術(shù)的專利！
該設(shè)備用于大量制備納米碳材料，如碳納米管粉、碳納米管薄膜和定向碳納米管制備；采用封閉式管式爐，石英反應(yīng)管直徑50mm/70mm~110mm*1000mm，基底尺寸60mm*60mm到120mm*120mm；氣源包括氫氣、氮氣、甲烷、酒精等；

MPCVD是一種碳納米管化學(xué)汽相沉積綜合系統(tǒng)，具備一個水平石英管式爐,該系統(tǒng)可以大量穩(wěn)定生產(chǎn)垂直對齊的CNT和各種粉末CNT。成熟穩(wěn)定的工藝保證了制備質(zhì)量和數(shù)量，也可用于三維形狀的CNT制備。乙醇注入裝置配備一個滴定法流量控制系統(tǒng)，氣體輸入端口配備三通道質(zhì)量流量氣體控制器(惰性氣體,碳?xì)浠衔餁怏w,氫氣)。
真空排氣系統(tǒng)使得該系統(tǒng)能夠在一個廣泛的氣壓下運行，從大氣到低壓(10 Pa),也可用作為熱處理系統(tǒng)，例如：真空爐、大氣爐、氮化爐。
 
相關(guān)產(chǎn)品：
1. 納米顆粒制備系統(tǒng)； 
2. ZnO納米帶制備系統(tǒng)； 
3. 碳納米管制備系統(tǒng)：用于高質(zhì)量碳納米管制備、納米顆?；虮∧ぶ苽洹nO納米帶制備等； 
4. 碳納米管生產(chǎn)系統(tǒng)CVD：用于粉末碳納米管、nanofiber, nanocoil, and film-type CNTs 等； 
5. 催化劑薄膜制備系統(tǒng)：可沉積催化劑薄膜在各種材料上，用于高性能碳納米管的指標(biāo)；

技術(shù)特點：
       *成熟的碳納米材料制備工藝和豐富的經(jīng)驗
       *乙醇和碳?xì)浠衔镒鳛樘荚?br>       *用于SWCNT 合成
       *具備催化劑前體供應(yīng)功能
       *可以合成較長長度 ( ~500 um)垂直對齊的CNT和粉末狀的CNT
       *具備三通道氣體質(zhì)量控制器
       *體積小，基座穩(wěn)定
       *最高溫度：1200度；
       *價格優(yōu)惠； 
       *運行成本低；
技術(shù)參數(shù)：
基底尺寸60mm*60mm到120mm*120mm；
粉末碳納米管、nanofiber, nanocoil, and film-type CNTs 等；

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注：對于醫(yī)療器械類產(chǎn)品，請先查證核實企業(yè)經(jīng)營資質(zhì)和醫(yī)療器械產(chǎn)品注冊證情況