概述

半導(dǎo)體制造工廠、納米技術(shù)中心、納米工廠和其他精密制造和研究中心通常將潔凈室與活動假地面系統(tǒng)結(jié)合在一起，以滿足復(fù)雜的設(shè)施要求（管道、電纜、燃氣管道等）和保持嚴格的清潔標準。這種地面不適用于對振動敏感的生產(chǎn)、檢測和計量設(shè)備?；顒拥孛鏌o法為這些工具提供必要的安靜振動環(huán)境。TMC的Quiet Island用一個固定在下面底層地面上的 安靜島 替換一部分活動地面區(qū)域，提供了一種創(chuàng)新的解決方案。主動隔振平臺Quiet Island包括一個兼容潔凈室的平臺頂部和一個應(yīng)用和現(xiàn)場特定的支撐結(jié)構(gòu)。

消振

Quiet Island獨有的主要支撐元件和核心技術(shù)都集成在STACIS III主動消振系統(tǒng)中。這種 剛性 式慣性消振支撐系統(tǒng)是任何振動敏感型儀器的理想選擇，它使此類工具能夠在嘈雜的環(huán)境中以*高標準運行。STACIS III兼容自動化晶圓加工工具、高分辨率電子束成像工具、離子束銑削工具以及任何帶有被動或主動內(nèi)部隔振系統(tǒng)的工具（請參閱我們關(guān)于在主動隔振器上堆疊主動隔振器的*皮書）。此外，它還提供了最寬頻率范圍內(nèi)的最大隔振性能。并且 硬安裝 設(shè)計非常堅硬，因此對于較高、上重下輕的工具，不會出現(xiàn)穩(wěn)定性問題。

立管和支架

用于支撐STACIS隔振器的極其堅固耐用的立管由TMC經(jīng)驗豐富的工程團隊設(shè)計，并由我們的ISO 9001工廠按照高標準和焊接認證規(guī)格制造。每個Quiet Island都經(jīng)過精心設(shè)計，適合各種活動地面高度、底層地面幾何形狀和工具尺寸。TMC在全球安裝了數(shù)千個支撐200多種不同儀器型號的裝置，擁有豐富的知識和經(jīng)驗，可以設(shè)計滿足STACIS和您設(shè)施需求的支撐結(jié)構(gòu)。

剛性平臺

該平臺由一個經(jīng)TMC設(shè)計和制造的4英寸（100毫米）厚的鋼板夾層組成，其中鋼板夾在一種輕質(zhì)、不可壓縮、阻尼的芯材料周圍。剛性鋼板和芯用環(huán)氧樹脂粘合到一個無縫不銹鋼盤中的分層效果提供了極高的剛度和結(jié)構(gòu)阻尼。大橫截面和鋼含量產(chǎn)生了非常高的整體剛度。頂部和側(cè)面是一個連續(xù)的一體式不銹鋼外殼，以保持清潔、美觀和完整性。TMC可根據(jù)需要設(shè)計和制造特定于應(yīng)用的平臺，包括切口、特殊形狀、固定孔和吊環(huán)螺栓。

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at "as built" and two times thereafter [2] 

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor slab with a raised floor allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing "Quiet" Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No.-1, 2005, Source

Quiet Island的優(yōu)勢

采用STACIS - TMC業(yè)界*先的主動壓電消振技術(shù)、 硬安裝 設(shè)計和始于0.6 Hz的隔振與內(nèi)置隔振器的工具兼容。

模塊化、定制和重新定位的靈活性 - 每個平臺都根據(jù)客戶的應(yīng)用量身定做，但與混凝土平臺不同，如果工具或地面特性發(fā)生變化，這些平臺可以很容易地重新進行配置。

專業(yè)知識 - TMC擁有與世界*先的半導(dǎo)體制造商、科研機構(gòu)和超精密OEM合作的豐富經(jīng)驗。我們了解客戶及其需求。我們自己設(shè)計和制造。

性能

在24英寸高、40英寸 x 60英寸的Quiet Island、4座STACIS支架上、

來自地面的VC-C輸入下測量傳遞率

規(guī)格

性能規(guī)格

主動自由度

6

主動帶寬

0.6 Hz - 150 Hz

被動固有頻率

18 Hz垂直和水平

有效的主動共振頻率

0.5 Hz

1 Hz時的隔振

40% - 70%

2 Hz時的隔振

90%

10磅（4.5千克）步進輸入后的穩(wěn)定時間（減少10:1）

0.3秒

內(nèi)部噪音

0.1 nm RMSd

每個隔振器的工作負載范圍

低承重能力：400 - 1100磅（181 - 499千克）
中等承重能力：900 - 2100磅（408 - 953千克）
高承重能力：1900 - 4500磅（862 - 2041千克）

剛度（1000磅/454千克質(zhì)量、中等承重能力隔振器）

40,000磅/英寸(73 x 105牛/米)

從距離隔振器最大4英寸（102毫米）處發(fā)射的磁場

0.02  G broadband RMSd

隔振器設(shè)計、尺寸、環(huán)境和效用要求

環(huán)境和安全

符合CE和RoHS標準

主動隔振元件

最小承重能力為3300磅（1500千克）的壓電致動器接收來自高壓放大器的信號，其輸出高達800 VDC。垂直執(zhí)行器支撐隔振的有效載荷

被動隔振元件

單個硬質(zhì)各向同性彈性體（無需壓縮空氣源）

振動傳感器元件

向下的地震檢波器型慣性傳感器，用于測量隔振器下方的地面振動，并提供與振動運動速度成正比的電壓

主動反饋控制回路

在支撐隔振表面的彈簧下方測量、處理和衰減地面振動

隔振器尺寸（寬x深x高）

11.75 x 12.5 x 10.8英寸
300 x 320 x 275 毫米

隔振器重量

75磅（34千克）

工作溫度

50 - 90 F
10 - 32 C

儲存溫度

-40 - 130 F
-40 - 55 C

濕度

30 - 60%

系統(tǒng)電源要求

100、120、230、240 VAC
50/60 Hz AC； 600 W
符合CE標準

地面位移

480 in. (12 m) below 10Hzd

每個系統(tǒng)的隔振器數(shù)量

至少3個

可選附件

層壓不銹鋼平臺、框架、立管、調(diào)平裝置、抗震裝置、提升罩

DC-2020控制器規(guī)格

尺寸（寬 x 深 x 高）

19 x 8.5 x 1.75英寸
483 x 216 x 45 mm

重量

6.3磅（2.9千克）

處理器

150/75 MHz雙核

采樣率

10 kHz

模擬輸出

16個通道

模擬輸入

16個通道

狀態(tài)燈

單個LED

前面板端口

1個串行USB 2.0
1個串行Micro-USB
1個以太網(wǎng)RJ-45
2個BNC

后面板端口

1個串行USB 2.0
1個以太網(wǎng)RJ-45
1個RS-232 DB-9傳統(tǒng)串行，用于傳統(tǒng)的STACIS 2100隔振器

用戶界面

前面板液晶顯示屏
超級終端上的字符菜單
適用于Microsoft Windows的擴展GUI
嵌入式以太網(wǎng)GUI

其他參數(shù)

平臺表面

不銹鋼表面頂部和側(cè)面；
環(huán)氧涂漆鋼底部

平臺結(jié)構(gòu)

專有的多層層壓鋼板

尺寸

量身定制

標準高度

15、18、20、24、30、36、48英寸
38、46、51、61、76、91、122厘米
還可提供定制高度

負載能力

量身定制

剛性立管和支架

獲認證的焊接、全鋼結(jié)構(gòu)，
與潔凈室兼容的粉末涂層表面

可選附件

限制支架、平臺頂部吊環(huán)螺栓，
用于格子式底層地面的橋板

平臺頂部版本

切口、通孔、用于固定工具的螺紋孔

其他Quiet Island配置

不具有環(huán)境振動規(guī)格的大型儀器通常需要一個與活動地面分開的剛性且穩(wěn)定的支架。剛性Quiet Island是理想的解決方案。剛性Quiet Island具有相同的高性能平臺頂部，也可為任何高度、任何底層地面幾何形狀的活動地面潔凈室以及各種工具尺寸定制設(shè)計。TMC提供一系列不同類型的支柱，以滿足各種需求，從而形成了特定于儀器和工廠的模塊化、可靈活地重新定位和升級的解決方案。

應(yīng)用照片

由于安裝在我們Quiet Island 底層地面平臺上設(shè)備的復(fù)雜性、敏感性和價值，我們未創(chuàng)建用于訂購的標準目錄號。我們認為應(yīng)為特定應(yīng)用定制設(shè)計每個平臺。建議的訂購步驟如下：

●告訴我們您要隔離的設(shè)備或儀器。由于我們已安裝了成千上萬的裝置，我們可能已有滿足您應(yīng)用要求的平臺設(shè)計。此外，我們還與步進器、對準器、SEM和其他工具制造商保持密切聯(lián)系，因此，我們了解*新的尺寸、形狀、重量變化和地面振動規(guī)格。

●或者，您可能想要一個適合活動地面網(wǎng)格系統(tǒng)的平臺?？蛻敉ǔ＿x擇47 x 47英寸（1,190 x 1,190毫米）的平臺來替換偶數(shù)塊地磚。

●告訴我們您的活動地面高出堅實底層地面的高度。

●請向我們描述或提供一個顯示您底層地面或鋼梁/格子板幾何形狀中的任何孔圖案的插圖。

●請向我們提供地面振動數(shù)據(jù)或與我們討論如何安排測量這些數(shù)據(jù)。

●考慮儀器的振動靈敏度。我們的剛性、非共振支柱設(shè)計為許多工具提供了充分的支撐。更敏感的應(yīng)用將需要空氣或壓電支撐

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溫馨提示：為規(guī)避購買風(fēng)險，建議您在購買產(chǎn)品前務(wù)必確認供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。