引言: 前面發(fā)過有關(guān)真空壓力控制器應用的文章，收到不少小伙伴后臺留言咨詢，此篇文章我們將帶領(lǐng)大家了解更多它的相關(guān)參數(shù)。

艾里卡特Conductor系列真空壓力控制器旨在快速控制抽真空過程的壓力，支持內(nèi)置真空傳感器或外接真空計，具有較寬的真空壓力測量/控制范圍(0.01 Torr至1000Torr)。

Conductor系列控制器集成了多種電容膜片真空計(CDG)用于測量系統(tǒng)的絕對壓力。通過調(diào)節(jié)被抽出真空系統(tǒng)的氣流量與進入系統(tǒng)的氣流量達到平衡，從而調(diào)節(jié)系統(tǒng)真空度。

上游控制的計算示例：

真空泵的抽速：每秒2升 

維持腔體壓力：10 TorrA

所需流量：實際壓力 標況壓力 抽速= 10 TorrA 14.696 PSIA 2 l / s = 0.013 2 l / s = 1.6 SLPM

使用艾里卡特真空控制器在單獨氣體供應裝置的上游進行壓力控制時，您無需擴大流量，只需使用較小的控制閥，即可提高控制性能并減少泄漏。

即使面對快速變化的過程工況(例如流量或溫度的波動)，艾里卡特Conductor系列真空壓力控制器也能迅速控制并保持壓力穩(wěn)定在設(shè)定值。

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快速響應

快速響應的閥門和特殊的PID控制算法構(gòu)成了1毫秒的控制回路。

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控制J準

j度可溯源至NIST

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通訊連接

通過以下方式輕松與您的工業(yè)網(wǎng)絡(luò)協(xié)議集成：

   Alicat獨特的多點RS-232串口通訊

   RS-485串口

   Modbus RTU(基于RS-232或RS-485)

   Modbus TCP/IP

   DeviceNet

   EtherCAT

   EtherNet/IP

   Profibus

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背壓控制

后置閥選項可以讓您的Conductor控制器控制過程腔體和真空泵之間的流量。將控制器安裝在過程腔體和真空泵之間，用于限制真空泵的抽氣流量，從而控制腔體的壓力上升或下降或維持穩(wěn)定。如果你無法在系統(tǒng)上游安裝壓力控制器，但又想j確控制系統(tǒng)壓力，就可以使用后置閥門的背壓控制器。

概況

壓力量程

- 絕壓量程(以高真空為基準)

- 10、100和1000 TorrA單傳感器模塊

- 1000＆10 TorrA雙傳感器模塊

性能

- 量程比 1000：1

- 常規(guī)j度校準，可溯源NIST：+/- 0.5％滿量程(零點漂移可通過真空去皮調(diào)整)

- 典型控制響應時間： 50ms(可調(diào))

- 傳感器響應時間：2毫秒

- 顯示響應時間： 10毫秒

- 傳感器預熱時間：完全的預熱時間-2小時

   適用于大部分用途的-15分鐘

運行條件

- 氣體兼容性：與多種氣體兼容，包括大部分具有腐蝕性的氣體

   關(guān)于腐蝕性氣體可參閱Alicat氣體清單，查看接液材料的兼容性。此真空壓力控制器不適用于液態(tài)水

- 接液材料：302、303、304和430FR不銹鋼、黃銅、FKM和FFKM、氧化鋁、可選316L不銹鋼主體

- 工作溫度：+10至+ 50 C

- 傳感器損壞壓力：6 kTorrG(116 PSIG)

工藝連接件

- Compression

- SAE

- 偉洛克 (包括管，VCO 和VCR )

電氣接頭

- 6針鎖緊型工業(yè)接頭

- 標準8針mini-DIN接頭

- 8針螺紋型M12接頭

- 9針引腳

- 15針引腳

如果我們內(nèi)置的CDG真空傳感器無法滿足你的量程或性能的需求，或您想使用自己的真空傳感器，請與Alicat 中國代表處聯(lián)系以獲得協(xié)助，以確保您的控制器能夠快速穩(wěn)定的運行。

Conductor

用于真空控制的快速響應絕壓控制器

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