磁光克爾(MOKE)效應測量系統(tǒng)

當一束線偏振光照被磁性介質反射后，反射光的偏振面相對于入射光的偏振面有一個小的角度偏轉（克爾旋轉角），這一現(xiàn)象被稱為磁光克爾效應。后來這一效應被用來材料磁特性的研究。磁光克爾效應測量系統(tǒng)就是一套精確測量克爾旋轉角的設備。磁光克爾效應測量系統(tǒng)是對極向克爾效應和縱向克爾效應克爾偏轉角精確測量的設備，使得該設備成為研究磁性薄膜磁特性的zui理想的測量工具。廣泛的應用于磁性納米技術、磁性薄膜等磁學領域。

磁光克爾效應測量系統(tǒng)以激光作為光源，由于樣品磁光克爾效應的磁性信號主要來自于光斑照射的區(qū)域，因此磁光克爾效應測量系統(tǒng)具有良好的局域性，可以實現(xiàn)在微米區(qū)域內材料磁特性的研究。此外以偏振激光束作為 探針 ，因此對樣品不會造成任何損傷，實現(xiàn)對樣品的無損測量，這對于需要做多次測量的樣品是非常有利的。

磁光克爾效應測量系統(tǒng)具有極高的靈敏度，對克爾旋轉角的探測精度可達到 0.001度。這一點使該設備在磁性薄膜磁特性的研究中具有重要的地位。利用鐵芯電磁特產(chǎn)生外加磁場，可以提供高達25KOe的外加磁場。

磁光克爾(MOKE)效應測量系統(tǒng)

磁光克爾效應測量系統(tǒng)、磁性測量系統(tǒng)、MOKE system、微米區(qū)域克爾磁光效應測量系統(tǒng)、磁滯回線測量裝置

上海昊量光電設備有限公司的磁光克爾測量系統(tǒng)主要可分為以下三類：

① 極向測量磁光克爾效應測量設備（MOKE磁滯回線測量系統(tǒng)）

代表產(chǎn)品是BH-810系列。BH-810CPC25WF12磁光克爾效應(MOKE)測量設備是其中的一款，主要是對12英寸的垂直磁記錄介質磁特性的測量。可以精確的探測分析每個探測點的磁滯回線，該產(chǎn)品應用408nm的固體激光器，光斑直徑為1mm，外加磁場可高達25KOe。

② 向測量磁光克爾效應測量設備（MOKE磁滯回線測量系統(tǒng)）

代表產(chǎn)品BH-618系列。BH-618SK-CA12是一款自動測量晶圓磁特性和各向異性的磁光克爾測量系統(tǒng)?？梢詫?2寸的晶圓進行多達400個不同點的磁滯回線的測量，并且探測結果以成像的形式顯示。

③ 微區(qū)域磁光克爾效應測量系統(tǒng)（m-kerr system）（極向+縱向，MOKE磁滯回線測量系統(tǒng)）

代表產(chǎn)品為BH-920系列。與前兩款產(chǎn)品相比， BH-920系列擁有更小的激光光斑，可以對微米區(qū)域內的磁特性進行研究。BH-P920-NH是可進行極向的微區(qū)域磁光克爾效應測量系統(tǒng)，該設備具有極高的靈敏度可達到0.001 。與BH-P920-NH相比BH-PI920不但具相同的探測靈敏度并且兼具進行極向和縱向測量。

磁光克爾(MOKE)效應測量系統(tǒng)

u 主要特點高性能成本低高靈敏度（0.001 ）高穩(wěn)定性高外加磁場（25KOe）

u 主要應用

磁性納米技術、磁性薄膜，磁性材料等磁學領域

u 測量項目

磁滯回線

X軸：外加磁場強度 H

Y軸：克爾旋轉角 qk

通過磁滯回線可獲得的參數(shù)

矯頑力 Hc

各向異性場 Hk

內稟矯頑力 Hn

飽和磁場強度 Hs

剩余磁化強度 qr

飽和磁化強度 qs

u 產(chǎn)品主要參數(shù)：

產(chǎn)品型號

參數(shù)

BH-PI920系列

BH-P920-NH

BH-PI920

BH-810CPC25WF12

BH-618SK-CA12

產(chǎn)品特點

微區(qū)域測量系統(tǒng)可滿足縱向/極向測量

極向微區(qū)域克爾測量裝置，具有高靈敏度

微區(qū)域測量系統(tǒng)可滿足縱向/極向測量，具有較高的靈敏度

極向磁光克爾效應測量，對PMR薄膜晶圓的磁特性測量

縱向磁光克爾測量系統(tǒng)，可進行多點磁滯回線的測量

激光光源

半導體激光器（405nm）

半導體激光器（408nm）

半導體激光器（405nm）

光斑直徑

縱向測量

約 5mm [1/e2]

1-2mm

2-3mm

1mm

1 2mm

極向測量

約 2mm [1/e2]

探測靈敏度

 0.005

0.001

0.001

 0.005

 0.005

探測范圍

 1

外加磁場強度

極向磁體

  10kOe

10kOe

極向磁場

1.5T

25kOe

0.2T

面內磁場

10kOe

面內磁場

1T

可測樣品大小

5 5 1tmm~10 10 1tmm

5 5~10 10mm

t：0.5~1mm

12inch wafer

12inch wafer

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