28200＆88200系列矩形板閥是采用了直連驅(qū)動(dòng)技術(shù)的接口閥，可靠使用壽命超過(guò)1百萬(wàn)次。HVA閘板閥專用于真空相關(guān)系統(tǒng)，起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小，設(shè)計(jì)緊湊，可靠應(yīng)用于生產(chǎn)線與過(guò)渡腔室（load-lock chamber），過(guò)渡腔室（load-lock chamber）與傳輸系統(tǒng)（handling system），傳輸系統(tǒng)（handling system）與工藝腔室（process chamber）等等，需要分隔真空壓力的地方。

28200＆88200系列矩形真空板閥產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 超百萬(wàn)次可靠運(yùn)行壽命

2. 不產(chǎn)生粉末，顆粒，防塵設(shè)計(jì)

3. 閥動(dòng)作平穩(wěn),振動(dòng)和沖擊小

4. 標(biāo)準(zhǔn)接口，或按客戶要求定制

5. 閥體材料經(jīng)過(guò)1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理

6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下

28200＆88200系列矩形真空板閥技術(shù)參數(shù)