上海貝丁漢工業(yè)自動化設備有限公司 主要從事各種進口儀器儀表、機械設備、電子產(chǎn)品及其配件等的銷售和技術服務工作。 為英國Scantron Industrial Products Ltd公司總代理，美國Hamar Laser Instruments Inc公司中國總代理，德國JENAer公司中國總代理和匈牙利CE Optics中國總代理。經(jīng)營的主要產(chǎn)品包括光學粗糙度輪廓儀、在線厚度檢測儀、激光直線度測量儀、激光平面度測量儀、激光平行度測量儀、激光垂直度測量儀、孔同軸度檢測儀、主軸對中儀、孔對心軸對中檢測儀、激光幾何測量系統(tǒng)、雙頻激光干涉儀、多點溫度測量儀、相位波前角色散測量儀、材料色散測量儀、載波包絡相位調諧儀等。



 本公司的激光儀器主要為激光準直、對中、校正和系統(tǒng)檢測。功能包括各種機械設備和部件的平面度檢測、直線度檢測、平行度檢測、垂直度檢測、孔的同軸度檢測、車床和車削中心的主軸對中檢測、聯(lián)軸器和電機軸的對中校正檢測等。廣泛應用于機床加工中心幾何量檢測、航空航天設備的組裝和工裝的校正、船舶制造工業(yè)標線和艉軸管檢測、汽車發(fā)動機同軸度、電廠汽輪機隔板同軸度、各種印刷造紙注塑設備輥軸的平行度的檢測，及機床的定位、補償和運動平臺的微位移檢測等。

載波包絡相位調諧儀,色散測量儀，雙頻激光干涉儀，激光平面度測量儀，粗糙度輪廓儀，輥筒平行度測量儀

  在德國，耶拿地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學產(chǎn)品而聞名。位于該地區(qū)的耶拿爾（JENAer）公司生產(chǎn)的ZLM700雙頻激光干涉儀在同類產(chǎn)品中，由于具有獨特的性能優(yōu)勢和簡單的操作方法而久負盛名。由本公司代理，德國耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀是真正意義上的雙頻干涉儀，并非單頻干涉原理。

產(chǎn)品功能
  定位精度、重復定位精度、位移距離測量、速度加速度測量、線性度、直線度、垂直度、平面度、偏擺角、俯仰角、滾動角、角速度、圓形軌跡、微振動測量，還能夠測量數(shù)控機床回轉臺的定位精度和重復定位精度等，從而實現(xiàn)定位、校準、控制和補償。ZLM700主要用于單軸系統(tǒng)的校準和測量，廣泛應用于高速動態(tài)加工工藝中的機械定位和系統(tǒng)控制。

性能優(yōu)勢
l  真正意義上的雙頻激光干涉儀，頻差為640MHz。請用戶注意 激光干涉儀 和 雙頻激光干涉儀 的區(qū)別。眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國耶拿爾公司是其中的一家。 l  全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡，是世界上*一家將*的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產(chǎn)品制造商。 l  測量系統(tǒng)采用模塊化設計，各種測量功能之間互不影響。若用戶先期只需要干涉儀的部分功能（如僅測量直線度），則僅采購所需功能部分的光學部件（直線度光學鏡），其他不需要的功能暫時可以不采購；若后期有其他功能的需求，補充采購功能對應的部件即可。 l  激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，一小時內為 0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內可達 0.02ppm。 l  干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達 0.4ppm。 l  計算機輔助光路調整，調整結果更準確。 l  采樣頻率更快，zui高達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。 l  被測物體zui大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。 l  無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。 l  信號延時 200ns；對電磁干擾不敏感。 l  對于多軸聯(lián)動的復雜光路測量和微位移測量，請選用ZLM800型雙頻激光干涉儀，zui多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。
工作原理
型ZLM700激光干涉儀使用氦氖激光器，采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻精度為+/-0.002ppm，640MHz的頻差用于信號處理。這種高頻處理信號能夠對高速物體進行測量，不會出現(xiàn)干擾誤差，信號延時時間極短。 采用光纖電纜，把來自干涉鏡的信號傳輸?shù)接嬎銠C卡槽連接的電子計數(shù)器上，避免了外部電磁環(huán)境對測量信號的干擾。因此，ZLM700雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標準化實驗室和高真空環(huán)境。

技術參數(shù)
型號：ZLM700 使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI He-Ne激光平均波長： 632.8 nm 激光穩(wěn)頻精度： 一小時2x10-9（ 0.002ppm） 壽命內2x10-8（ 0.02ppm） 系統(tǒng)精度（0-40℃時）： 0.4ppm 光束直徑： 6mm （可選3.2mm） 激光管突發(fā)zui大輸出功率： 1mW （激光等級2） 每束光可測量的軸數(shù)： 1 線性測量距離： 40m，可擴展為120m 角度測量范圍： 15 ，20m軸線范圍 平面度測量范圍： 20m行程 直線度測量范圍： 5mm，2m或10m行程， 選用角度干涉儀可測30m行程 垂直度測量范圍： 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀 zui大速度： 4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度 zui大加速： 無限制 zui高采樣頻率： 內部1MHz，外部40MHz 預熱時間： 10分鐘 精度/非線性： 0.3nm （角隅反射鏡） 0.1nm （平面反射鏡） 距離測量分辨率： 0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選 距離測量精度： （20 0.5 ） 使用AUK時 （20 0.5 ） 真空中時   0.4ppm （ /m） 0.08 （ 0.02）ppm （ /m） 線性度測量分辨率： 0.6nm （角隅反射鏡） 0.3nm （平面反射鏡） 0.1nm 可選 線性度測量精度： （20 0.5 ） 使用AUK時 （20 0.5 ） 真空中時   0.4ppm （ /m） 0.08 （ 0.02）ppm （ /m） 速度測量精度： 0.5ppm實測值 角度測量分辨率： 0.015 rad （3x10-3 弧秒） 角度測量精度： 0.1ppm實測值 平面度測量分辨率： 0.015 rad （3x10-3 弧秒） 平面度測量精度： 0.2%實測值 0.05 弧度/米運行距離 直線度測量分辨率： 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 直線度測量精度： 0.5%實測值，2m行程 2.5%實測值，10m行程 垂直度測量分辨率： 36nm，10m行程 7.25nm，2m行程 垂直度測量精度： 0.5%實測值2m， 0.5弧秒* 2.5%實測值10m， 0.5弧秒* 數(shù)據(jù)接口： 積分信號
32 Bit （實時時間）
Dt 20 ns 數(shù)據(jù)分析標準： ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA 工作環(huán)境： 溫度：15 C-30 C 濕度： 90%無冷凝 儲存環(huán)境： 溫度：10 C-40 C 濕度： 95%無冷凝
 

應用光路圖

以上為直線度測量示意圖，包括水平方向直線度和垂直方向直線度

以上是平面度測量示意圖

以上是垂直度測量示意圖

 
以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖

以上是對角測量示意圖

 
以上是俯仰角測量示意圖

以上是偏擺角測量示意圖

以上是滾動角測量示意圖

以上是回轉臺定位精度測量示意圖

資料下載
耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本（中文）.pdf
激光干涉儀說明書（中文）.pdf