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NMC-4000 MOVPE設(shè)備
MOVPE設(shè)備概述：MOVPE，也就是大名鼎鼎的MOCVD(金屬有機物化學(xué)氣相沉積), 針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有加熱的氣體管路、5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、950度樣品臺三個氣體環(huán)、PC全自動控制、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、 250 		2025-01-23
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