MOVPE設備概述：

    MOVPE，也就是大名鼎鼎的MOCVD(金屬有機物化學氣相沉積), 針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有加熱的氣體管路、5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、950度樣品臺三個氣體環(huán)、PC全自動控制、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、 250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)，完全的安全互鎖。

    目前，NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的這項技術(shù)延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。

MOVPE設備型號：

• 臺式系統(tǒng)

• 5個帶獨立冷卻槽的起泡器

• 加熱的氣體管路

• 950 °C樣品臺，2"晶圓片

• 3個氣體環(huán)

• RF等離子源，帶淋浴頭氣體分布

• 工藝完成后N2自動沖洗

• 極限真空5x10^-7Torr

• 250 l/s的渦輪分子泵串接無油干泵

• 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機全自動控制

• 菜單驅(qū)動，4級密碼訪問控制

• 完整的安全聯(lián)鎖

  
  

MOVPE設備配置：

• 獨立系統(tǒng)

• 14"不銹鋼立方體腔體

• 1次在8"樣品臺上處理1個6"晶圓片或在12"樣品臺上處理5片4"片子

• 加熱的氣體管路

• RF等離子源，自動調(diào)諧

• 淋浴頭氣體分布

• 1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺

• N2沖洗

• 手動或自動的晶圓片上下載

• 可以兼容到集群配置中

  
  

MOVPE設備應用：

• 3到5族半導體層

• 藍色發(fā)光二極管

• 激光二極管

• 紫外-可見光譜光電中的氮化銦納米棒

• 3D或2D材料中的二硫化鉬、氮化硼、石墨烯