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電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī) NEE-4000(A)全自動(dòng)電子束蒸發(fā)系統(tǒng)
NEE-4000(A)全自動(dòng)電子束蒸發(fā)系統(tǒng)概述:NANO-MASTER NEE-4000電子束蒸發(fā)系統(tǒng)為雙腔體的配置,其中樣品臺(tái)位于主腔體內(nèi),二級(jí)腔體則用于安置電子束源。這種在兩個(gè)腔體之間帶有門閥的配置可以作為預(yù)真空鎖,使得電子束源腔體保持真空的情況下,實(shí)現(xiàn)基片通過主腔體放入基片到樣平臺(tái)(或夾具)上或從中取出。在需要自動(dòng)裝/卸載基
2025-01-23
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