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LSC-4000兆聲大基片濕法去膠清洗系統(tǒng)
LSC-4000兆聲大基片濕法去膠清洗系統(tǒng)概述：兆聲和清洗技術(shù)的發(fā)展，對(duì)MEMS和半導(dǎo)體等領(lǐng)域的晶圓和掩模版清洗提供了的水平，可以幫助用戶獲得z干凈的晶圓片和掩模版。NANO-MASTER提供兆聲單晶圓掩模清洗(LSC)系統(tǒng)，用于的無(wú)損兆聲清洗?？梢赃m用于易受損的帶圖案或無(wú)圖案的基片，包含帶保護(hù)膜的掩模版。為了在確保不損傷基片 		2025-01-23
LSC-5000全自動(dòng)兆聲大基片濕法去膠系統(tǒng)
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