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上海市浦東新區(qū)?？坡?9號張江實(shí)驗(yàn)室（中國科學(xué)院上海高等研究院）硅光子市級重大專項(xiàng)200mm硅光中試平臺(tái)拓展和成套工藝開發(fā)CMP化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備、快速退火系統(tǒng)RTP1和Tilt掃描電鏡設(shè)備采購項(xiàng)目重新招標(biāo)國際競爭性招標(biāo)中標(biāo)公告

2019年05月09日 18:55 來源： 【打印】

公告概要：公告信息：采購項(xiàng)目名稱張江實(shí)驗(yàn)室（中國科學(xué)院上海高等研究院）硅光子市級重大專項(xiàng)200mm硅光中試平臺(tái)拓展和成套工藝開發(fā) CMP化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備、快速退火系統(tǒng)RTP1和Tilt掃描電鏡設(shè)備采購項(xiàng)目重新招標(biāo)國際競爭性招標(biāo)品目

貨物/通用設(shè)備/電子和通信測量儀器/元件器件參數(shù)測量儀/集成電路參數(shù)測量儀

采購單位上海市浦東新區(qū)?？坡?9號行政區(qū)域上海市公告時(shí)間2019年05月09日 18:55本項(xiàng)目招標(biāo)公告日期2019年04月15日中標(biāo)日期2019年05月08日評審專家名單葛福第、高月、周宏、莫華強(qiáng)、李斌總中標(biāo)金額￥3442.000000 萬元（人民幣）聯(lián)系人及聯(lián)系方式：項(xiàng)目聯(lián)系人趙麗莉項(xiàng)目聯(lián)系電話021-62791919*135采購單位上海市浦東新區(qū)海科路99號采購單位地址上海市浦東新區(qū)?？坡?9號采購單位聯(lián)系方式陳潔21-20325067代理機(jī)構(gòu)名稱上海國際招標(biāo)有限公司代理機(jī)構(gòu)地址中國上海延安西路358號美麗園大廈14樓代理機(jī)構(gòu)聯(lián)系方式趙麗莉、021-62791919*135

上海國際招標(biāo)有限公司受上海市浦東新區(qū)?？坡?9號的委托，就“張江實(shí)驗(yàn)室（中國科學(xué)院上海高等研究院）硅光子市級重大專項(xiàng)200mm硅光中試平臺(tái)拓展和成套工藝開發(fā) CMP化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備、快速退火系統(tǒng)RTP1和Tilt掃描電鏡設(shè)備采購項(xiàng)目重新招標(biāo)國際競爭性招標(biāo)”項(xiàng)目（項(xiàng)目編號：0705-194118101818）組織采購，評標(biāo)工作已經(jīng)結(jié)束，中標(biāo)結(jié)果如下：

 

一、項(xiàng)目信息

項(xiàng)目編號：0705-194118101818

項(xiàng)目名稱：張江實(shí)驗(yàn)室（中國科學(xué)院上海高等研究院）硅光子市級重大專項(xiàng)200mm硅光中試平臺(tái)拓展和成套工藝開發(fā) CMP化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備、快速退火系統(tǒng)RTP1和Tilt掃描電鏡設(shè)備采購項(xiàng)目重新招標(biāo)國際競爭性招標(biāo)

項(xiàng)目聯(lián)系人：趙麗莉

聯(lián)系方式：021-62791919*135

 

二、采購單位信息

采購單位名稱：上海市浦東新區(qū)?？坡?9號

采購單位地址：上海市浦東新區(qū)?？坡?9號

采購單位聯(lián)系方式：陳潔21-20325067

 

三、項(xiàng)目用途、簡要技術(shù)要求及合同履行日期：

項(xiàng)目用途、簡要技術(shù)要求：

CMP化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備：工藝方式：干進(jìn)干出
高拋光速率： 3000A/min
低拋光速率： 200A/min
拋光片內(nèi)非均勻性： 3%
片與片拋光速率變動(dòng)： 3%
拋光后表面顆粒： 10

快速退火系統(tǒng)：加熱方式：燈管加熱
控溫范圍：400 C 1150 C
瞬時(shí)退火峰值溫度時(shí)長： 2秒
升溫速率： 150oC每秒
降溫速率： 50oC每秒
控溫精度：+/- 5oC
升降溫：可控式
配有氧氣水平檢測傳感器

Tilt掃描電鏡_Tilt SEM：
承片臺(tái)旋轉(zhuǎn)角度：0o, 45o, 90o，180o
承片臺(tái)傾斜角度：5o-45o
需要EDX元素檢測功能
EDX加速電壓：5kV - 10kV
EDX分辨率：138eV@Mn 5KeV;
82eV@F 5KeV
需有增強(qiáng)型電壓對比成像模式
需有增強(qiáng)型高寬比成像模式
需晶圓傾斜觀測

合同履行日期：交貨期2019年6月1日之前。

 

四、采購代理機(jī)構(gòu)信息

采購代理機(jī)構(gòu)全稱：上海國際招標(biāo)有限公司

采購代理機(jī)構(gòu)地址：中國上海延安西路358號美麗園大廈14樓

采購代理機(jī)構(gòu)聯(lián)系方式：趙麗莉、021-62791919*135

 

五、中標(biāo)信息

招標(biāo)公告日期：2019年04月15日

中標(biāo)日期：2019年05月08日

總中標(biāo)金額：3442.0 萬元（人民幣）

中標(biāo)供應(yīng)商名稱、聯(lián)系地址及中標(biāo)金額：

序號 中標(biāo)供應(yīng)商名稱 中標(biāo)供應(yīng)商聯(lián)系地址 中標(biāo)金額(萬元) 1 Applied Materials South East Asia Pte. Ltd. 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)張東路1388號22棟 3442.000000

本項(xiàng)目招標(biāo)代理費(fèi)總金額：13.0 萬元（人民幣）

本項(xiàng)目招標(biāo)代理費(fèi)收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)：

根據(jù)國家發(fā)改委1980號文貨物類標(biāo)準(zhǔn)收費(fèi)下浮40%計(jì)取。

 

評審專家名單：

葛福第、高月、周宏、莫華強(qiáng)、李斌

 

中標(biāo)標(biāo)的名稱、規(guī)格型號、數(shù)量、單價(jià)、服務(wù)要求：

中標(biāo)標(biāo)的名稱：CMP化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備、快速退火系統(tǒng)RTP1和Tilt掃描電鏡設(shè)備；
規(guī)格型號：Mirra Mesa/RTP Radiance +/SEMVision G2+；數(shù)量：3臺(tái)/套；單價(jià)：USD 5,100,000.00；
服務(wù)要求：提供以上3臺(tái)/套設(shè)備的供貨以及安裝、調(diào)試、售后服務(wù)、質(zhì)保等伴隨服務(wù)。

 

六、其它補(bǔ)充事宜

本項(xiàng)目為國際競爭性招標(biāo)，本公告同步發(fā)布在中國國際招標(biāo)招標(biāo)網(wǎng)，如有不一致，以中國國際招標(biāo)招標(biāo)網(wǎng)的公告為準(zhǔn)。

中標(biāo)價(jià)以美元價(jià)格為準(zhǔn)。