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北京量子信息科學(xué)研究院激光直寫光刻機(jī)單一來源公告

2019年03月29日 17:06 來源： 【打印】

公告概要：公告信息：采購項(xiàng)目名稱激光直寫光刻機(jī)品目

貨物/其他貨物/其他不另分類的物品

采購單位北京量子信息科學(xué)研究院行政區(qū)域海淀區(qū)公告時間2019年03月29日 17:06預(yù)算金額￥367.000000萬元（人民幣）聯(lián)系人及聯(lián)系方式：項(xiàng)目聯(lián)系人楊楠項(xiàng)目聯(lián)系電話18618127731采購單位北京量子信息科學(xué)研究院采購單位地址北京市海淀區(qū)西北旺東路10號院西區(qū)3號樓采購單位聯(lián)系方式陳春融、010-83057401代理機(jī)構(gòu)名稱華誠博遠(yuǎn)工程咨詢有限公司代理機(jī)構(gòu)地址北京市西城區(qū)宣武門外大街10號莊勝廣場中央辦公樓北翼13A層代理機(jī)構(gòu)聯(lián)系方式楊楠、18618127731附件：附件1專家簽到表.jpg附件2激光直寫-單一來源專家論證意見.pdf附件3激光直寫光刻機(jī)---單一來源公告.pdf

華誠博遠(yuǎn)工程咨詢有限公司受北京量子信息科學(xué)研究院委托，根據(jù)《中華人民共和國政府采購法》等有關(guān)規(guī)定，現(xiàn)對激光直寫光刻機(jī)進(jìn)行單一來源招標(biāo)，歡迎合格的供應(yīng)商前來投標(biāo)。

 

項(xiàng)目名稱：激光直寫光刻機(jī)

項(xiàng)目編號：HCBY-ZC-2019038

項(xiàng)目聯(lián)系方式：

項(xiàng)目聯(lián)系人：楊楠

項(xiàng)目聯(lián)系電話：18618127731

 

采購單位聯(lián)系方式：

采購單位：北京量子信息科學(xué)研究院

采購單位地址：北京市海淀區(qū)西北旺東路10號院西區(qū)3號樓

采購單位聯(lián)系方式：陳春融、010-83057401

 

代理機(jī)構(gòu)聯(lián)系方式：

代理機(jī)構(gòu)：華誠博遠(yuǎn)工程咨詢有限公司

代理機(jī)構(gòu)聯(lián)系人：楊楠、18618127731

代理機(jī)構(gòu)地址： 北京市西城區(qū)宣武門外大街10號莊勝廣場中央辦公樓北翼13A層

 

一、擬采購的貨物或者服務(wù)的說明:

項(xiàng)目背景：2017年12月24日北京市政府聯(lián)合中國科學(xué)院、北京大學(xué)、清華大學(xué)等單位超前謀劃、統(tǒng)籌部署、整合資源，創(chuàng)新體制機(jī)制，共同建設(shè)北京量子信息科學(xué)研究院。瞄準(zhǔn)世界量子物理與量子信息學(xué)前沿和國家在量子信息技術(shù)等領(lǐng)域戰(zhàn)略急需，在量子計(jì)算、量子通信、量子物態(tài)、量子器件、量子精準(zhǔn)測量等方面重點(diǎn)研發(fā)，將推翻 圍墻 ，進(jìn)行體制機(jī)制創(chuàng)新，建成世界一流新型研究機(jī)構(gòu)。為響應(yīng)國家重大戰(zhàn)略部署，加快建設(shè)北京量子信息科學(xué)研究院的進(jìn)度，搭建國際一流水平的量子信息實(shí)驗(yàn)平臺，吸引全球量子領(lǐng)域優(yōu)秀科研人才，現(xiàn)急需采購微納加工和綜合測試平臺所需先進(jìn)科研設(shè)備，加快量子實(shí)驗(yàn)室平臺搭建進(jìn)度。

項(xiàng)目內(nèi)容：采購激光直寫光刻機(jī)1臺套。

 

二、采用單一來源采購方式的原因及相關(guān)說明:

原因：只能從唯一供應(yīng)商處采購。

相關(guān)說明：

北京量子信息科學(xué)研究院開展了量子自旋器件與物理、量子通信單光子器件、量子精密測量中的半導(dǎo)體器件等方向的研究工作，需要對各種新穎微納圖形的快速實(shí)現(xiàn)和驗(yàn)證，最細(xì)線寬需達(dá)到0.6um，且光刻速度高。直寫式曝光工藝是利用半導(dǎo)體微納加工技術(shù)構(gòu)筑半導(dǎo)體量子器件的關(guān)鍵基礎(chǔ)工藝，較其它同型無掩膜光刻機(jī)速度快，能夠很好的完成量子器件中的圖形化需求。

目前無掩膜的激光直寫光刻機(jī)市場上，商業(yè)化的產(chǎn)品很難做到線條精度0.6um的最細(xì)線寬。本次欲采購的德國海德堡儀器公司所生產(chǎn)的MLA150無掩膜激光光刻機(jī)可以實(shí)現(xiàn)制作0.6um的線條；且光刻速度每分鐘可達(dá)285mm2/min, 較其它同型無掩膜光刻機(jī)速度快20倍；平臺的移動采用的是分辨率達(dá)10nm的雙軸激光干涉儀, 可以保證其正面對準(zhǔn)精度達(dá)0.5um, 背向?qū)?zhǔn)精度達(dá)1um；高精密的氣壓差式自動聚焦讀寫頭提升了自動聚焦的能力,實(shí)時動態(tài)自動聚焦范圍更可高達(dá)180um,縮短了圖形制作上的時間；還可以搭配128 levels的基礎(chǔ)灰度光刻功能, 可以制作的灰度光刻圖形, 增加了設(shè)備的應(yīng)用范圍。該設(shè)備可以為量子院的相關(guān)研究帶來更高效率的直寫光刻技術(shù)。

海德堡儀器跨足工業(yè)生產(chǎn)與科研領(lǐng)域，是唯一一家能夠提供滿足實(shí)驗(yàn)需求的激光直寫機(jī)供貨商。其在大陸地區(qū)的獨(dú)家代理公司是華格科技（蘇州）有限公司，因此擬在華格科技（蘇州）有限公司進(jìn)行采購。

 

三、開標(biāo)時間：

 

四、擬定的唯一供應(yīng)商名稱及其地址：

華格科技（蘇州）有限公司、蘇州工業(yè)園區(qū)北擺宴街8號恒潤商務(wù)大廈一樓A-3

 

五、其它補(bǔ)充事宜

專業(yè)技術(shù)人員論證意見，以及專業(yè)技術(shù)人員姓名、工作單位及職稱：

姓名

工作單位

職稱

論證意見

高宇南

北京大學(xué)物理學(xué)院

研究員

擬購置的激光直寫光刻機(jī)，符合量子院研究方向，是當(dāng)前量子院科學(xué)研究工作的必需設(shè)備，進(jìn)口儀器主要技術(shù)指標(biāo)明確且滿足實(shí)驗(yàn)需求，意向供貨商產(chǎn)品符合科研需求，關(guān)鍵技術(shù)功能有技術(shù)發(fā)明專利。

專家組一致同意以單一來源形式購置該設(shè)備，建議盡快實(shí)施采購。

劉永椿

清華大學(xué)物理系

副教授

楊樂仙

清華大學(xué)物理系

副教授

王  謙

清華大學(xué)微電子所

副研究員

黃亞軍

中科院半導(dǎo)體所

高級工程師

張碩淼

華利信（北京）會計(jì)師事務(wù)所有限公司

高級會計(jì)師

唐  莉

北京華標(biāo)律師事務(wù)所

高級合伙人

 

公示的期限：

本項(xiàng)目公示期為2019年3月30日至2019年4月8日。有關(guān)單位和個人如對公示內(nèi)容有異議，請?jiān)?019年4月8日17:00（北京時間）之前以實(shí)名書面形式（包括聯(lián)系人、聯(lián)系地址、聯(lián)系電話）向采購人、采購代理機(jī)構(gòu)反饋，并同時抄送給財(cái)政部門。

  采購人：北京量子信息科學(xué)研究院

采購人地址：北京市海淀區(qū)西北旺東路10號院西區(qū)3號樓

采購人聯(lián)系人及電話：陳春融，010-83057401

采購代理機(jī)構(gòu)：華誠博遠(yuǎn)工程咨詢有限公司

采購代理機(jī)構(gòu)地址：北京市西城區(qū)宣武門外大街10號莊勝廣場中央辦公樓北翼13A層

采購代理機(jī)構(gòu)聯(lián)系人及電話：楊楠，18618127731

財(cái)政部門：北京市財(cái)政局

財(cái)政部門地址：北京市通州區(qū)承安路3號院

財(cái)政部門聯(lián)系人及電話：袁老師，010-55592411

 

六、預(yù)算金額

預(yù)算金額：367.0 萬元（人民幣）