手機(jī)版|
二維碼|
【中國(guó)91化工儀器網(wǎng) 本網(wǎng)視點(diǎn)】近日，一篇名為《我國(guó)研制世界首臺(tái)分辨力高紫外超分辨光刻裝備》的新聞報(bào)道在各大媒體瞬時(shí)刷屏，尤其是席卷了半導(dǎo)體領(lǐng)域，在相關(guān)業(yè)內(nèi)人士的朋友圈、微博受到大量轉(zhuǎn)載。但該火熱現(xiàn)象背后，引發(fā)了業(yè)內(nèi)專業(yè)人士的多方質(zhì)疑。
眾所周知，光刻機(jī)是制造芯片的核心裝備，我國(guó)在該領(lǐng)域長(zhǎng)期落后，技術(shù)薄弱，話語(yǔ)權(quán)較低。而ASML光刻機(jī)以193納米波長(zhǎng)光源，實(shí)現(xiàn)了達(dá)到7納米級(jí)的芯片蝕刻，其售價(jià)也達(dá)到近億美元。居高的產(chǎn)品成本和產(chǎn)品稀缺讓很多國(guó)家一度望而止步，一籌莫展。在高科技競(jìng)爭(zhēng)嚴(yán)峻的當(dāng)前，唯有提高自主創(chuàng)新技術(shù)能力，停止 拿來(lái)主義 ，才能為半導(dǎo)體事業(yè)發(fā)展提供新出路，為科技大國(guó)建設(shè)提供源源不斷的新活力。
發(fā)展核心高科技產(chǎn)業(yè)，需要持之以恒的投入，這貫穿在科學(xué)事業(yè)革新的每個(gè)階段。微納光學(xué)制造技術(shù)作為現(xiàn)代先進(jìn)制造的重要方向，其水平高低也是體現(xiàn)一個(gè)國(guó)家綜合實(shí)力的標(biāo)志之一。如何研制出面向微納光學(xué)結(jié)構(gòu)制造的光刻裝備是相關(guān)科研工作者不懈的追求。
打破多年技術(shù)壁壘，11月29日，國(guó)家重大科研裝備研制項(xiàng)目 超分辨光刻裝備研制 通過(guò)驗(yàn)收，該裝備用365nm波長(zhǎng)的紫外光單次成像實(shí)現(xiàn)了22nm的分辨率，為光學(xué)超材料/超表面、第三代光學(xué)器件、傳感芯片等納米光學(xué)加工提供了全新的解決途徑。該事件一經(jīng)報(bào)道，讓業(yè)內(nèi)沸騰不已，業(yè)內(nèi)相關(guān)企業(yè)借勢(shì)宣傳。
國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)是 真牛 還是 吹牛 ？專家對(duì)此爭(zhēng)議不斷。一些媒體更是夸大報(bào)道，《國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)偉大突破，國(guó)產(chǎn)芯片白菜化在即》《突破荷蘭技術(shù)封鎖，彎道超車》《厲害了我的國(guó)，新式光刻機(jī)將打破 芯片荒 》等謠言肆意傳播，這同樣被一些外行人斷章取義，認(rèn)為半導(dǎo)體芯片大步發(fā)展，實(shí)現(xiàn)發(fā)展。
在此過(guò)程中，不少業(yè)內(nèi)人士或一些專業(yè)媒體從業(yè)者經(jīng)過(guò)專業(yè)判斷與求證，狠狠打擊了不實(shí)報(bào)道。據(jù)悉，等離子體(surface plasmon,SP)光刻機(jī)屬于接觸式光刻，適用于光纖領(lǐng)域、5G天線等特殊應(yīng)用，或者是用于科研領(lǐng)域的單光子探測(cè)器。這對(duì)于實(shí)驗(yàn)室科研、軍工等領(lǐng)域意義突出，可以一定程度上替代現(xiàn)在的e beam光刻。
但肯定科研成果并不意味著可脫離實(shí)際應(yīng)用影響。在項(xiàng)目驗(yàn)收會(huì)上，專家也明確表示用于芯片需要攻克一系列技術(shù)難題，距離還很遙遠(yuǎn)。中科院研制的光刻機(jī)該裝備還不具備用于產(chǎn)線上微電子芯片的制造能力，不能代替微電子芯片的制造。
經(jīng)過(guò)相關(guān)資料和查詢，世界上SP光刻機(jī)的研究機(jī)構(gòu)極少，主流的光刻機(jī)生產(chǎn)商都未投入相關(guān)的研究。主要原因被認(rèn)為是無(wú)法應(yīng)用于商用芯片的制造，該技術(shù)存在應(yīng)用缺陷。當(dāng)然，這并不是說(shuō)否定科研成果，需要注意的是，在光刻機(jī)領(lǐng)域，還需要很長(zhǎng)時(shí)間的研究投入和持續(xù)探索。
隨著人工智能的技術(shù)發(fā)展，以及物聯(lián)網(wǎng)、節(jié)能環(huán)保、新能源等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)推動(dòng)，半導(dǎo)體的市場(chǎng)需求將持續(xù)增加。前瞻網(wǎng)數(shù)據(jù)顯示，2018年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額預(yù)計(jì)達(dá)到118.1億美元?？v觀我國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)，半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率為20%，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)被國(guó)外巨頭壟斷。這一市場(chǎng)現(xiàn)狀正同樣倒逼著相關(guān)技術(shù)的迫切研發(fā)。
說(shuō)到底，在光刻機(jī)研制方面，科學(xué)家正歷經(jīng)漫漫長(zhǎng)路。唯成果論本就不是科學(xué)正確的態(tài)度。對(duì)待科技的每一次突破，社會(huì)各界都應(yīng)理性對(duì)待，戒驕戒躁，既不夸大其詞，也不妄自菲薄，還科研創(chuàng)新一個(gè)健康、公正、積極的利好環(huán)境。
[{"ID":"124960","HomeTitle":"","Title":"島津在津建設(shè)液壓設(shè)備新工廠 應(yīng)對(duì)中國(guó)市場(chǎng)叉車需求增長(zhǎng)","CreateTime":"2019/8/27 10:46:07","Summary":"島津制作所的中國(guó)子公司天津島津液壓有限公司(簡(jiǎn)稱：TSH)于11月在天津市西青經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)著手建設(shè)生產(chǎn)叉車專用液壓齒輪泵和控制閥的新工廠。"},{"ID":"124908","HomeTitle":"四項(xiàng)校準(zhǔn)規(guī)范征集意見(jiàn)稿發(fā)布","Title":"《GNSS導(dǎo)航信號(hào)采集回放儀校準(zhǔn)規(guī)范》等四個(gè)征求意見(jiàn)稿發(fā)布","CreateTime":"2019/8/21 11:11:14","Summary":"8月20日，根據(jù)全國(guó)衛(wèi)星導(dǎo)航應(yīng)用專用計(jì)量測(cè)試技術(shù)委員會(huì)規(guī)范制修訂計(jì)劃，全國(guó)衛(wèi)星導(dǎo)航應(yīng)用專用計(jì)量測(cè)試技術(shù)委員會(huì)秘書(shū)處已組織完成了《GNSS導(dǎo)航信號(hào)采集回放儀校準(zhǔn)規(guī)范》（征求意見(jiàn)稿）、《行駛記錄儀校準(zhǔn)規(guī)范》（征求意見(jiàn)稿）、《基于導(dǎo)航衛(wèi)星的陸地定向系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范》（征求意見(jiàn)稿）、《星敏感器校準(zhǔn)規(guī)范》（征求意見(jiàn)稿），現(xiàn)面向社會(huì)公開(kāi)征求意見(jiàn)。"},{"ID":"124777","HomeTitle":"","Title":"長(zhǎng)春理工大學(xué)教學(xué)專用儀器采購(gòu)項(xiàng)目中標(biāo)結(jié)果公告","CreateTime":"2019/8/8 17:29:18","Summary":""},{"ID":"124678","HomeTitle":"","Title":"903萬(wàn) 半導(dǎo)體所采購(gòu)兩套大型科學(xué)儀器","CreateTime":"2019/7/31 11:49:07","Summary":"1956年，在我國(guó)十二年科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠(yuǎn)景規(guī)劃中，半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)被列為當(dāng)時(shí)國(guó)家新技術(shù)四大緊急措施之一。為了創(chuàng)建中國(guó)半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的研究發(fā)展基地，我國(guó)于1960年9月6日在北京成立中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所(以下簡(jiǎn)稱“半導(dǎo)體所”)，開(kāi)啟了中國(guó)半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的發(fā)展之路。"},{"ID":"124667","HomeTitle":"等離熱電子光探測(cè)器研究取得進(jìn)展","Title":"固體所在等離熱電子光探測(cè)器研究上取得重要進(jìn)展","CreateTime":"2019/7/31 8:34:39","Summary":"近日，中國(guó)科學(xué)院固體物理研究所傳來(lái)好消息，稱固體所制備出了高探測(cè)率、快響應(yīng)速度的等離熱電子光探測(cè)器。"},{"ID":"124663","HomeTitle":"","Title":"小動(dòng)物精準(zhǔn)放療平臺(tái)中標(biāo)結(jié)果公告","CreateTime":"2019/7/30 11:08:20","Summary":""},{"ID":"124355","HomeTitle":"半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)委員調(diào)整","Title":"全國(guó)半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)委員調(diào)整公示","CreateTime":"2019/7/3 8:40:03","Summary":"近日，工信部發(fā)布了一則關(guān)于全國(guó)半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)及其分立器件分技術(shù)委員會(huì)委員調(diào)整的公示。"},{"ID":"124344","HomeTitle":"安全帽事關(guān)重大 科學(xué)檢測(cè)必不可少","Title":"安全帽質(zhì)量事關(guān)重大 科學(xué)檢測(cè)必不可少","CreateTime":"2019/7/2 13:56:51","Summary":"今天一大早小編在騎車途中遇到了一位工人在駕駛電動(dòng)車過(guò)程中因拒絕佩戴安全帽而與交警發(fā)生爭(zhēng)執(zhí)的事情。其實(shí)類似事件屢見(jiàn)不鮮，不少市民覺(jué)得佩戴安全帽麻煩便把安全帽放在了后備箱，行車途中為了避免交警盤(pán)查總是會(huì)繞道而行。雖然不少人能一時(shí)逃過(guò)交警的盤(pán)查，但是生命安全卻存在較大威脅。"}]
眾所周知，光刻機(jī)是制造芯片的核心裝備，我國(guó)在該領(lǐng)域長(zhǎng)期落后，技術(shù)薄弱，話語(yǔ)權(quán)較低。而ASML光刻機(jī)以193納米波長(zhǎng)光源，實(shí)現(xiàn)了達(dá)到7納米級(jí)的芯片蝕刻，其售價(jià)也達(dá)到近億美元。居高的產(chǎn)品成本和產(chǎn)品稀缺讓很多國(guó)家一度望而止步，一籌莫展。在高科技競(jìng)爭(zhēng)嚴(yán)峻的當(dāng)前，唯有提高自主創(chuàng)新技術(shù)能力，停止 拿來(lái)主義 ，才能為半導(dǎo)體事業(yè)發(fā)展提供新出路，為科技大國(guó)建設(shè)提供源源不斷的新活力。
發(fā)展核心高科技產(chǎn)業(yè)，需要持之以恒的投入，這貫穿在科學(xué)事業(yè)革新的每個(gè)階段。微納光學(xué)制造技術(shù)作為現(xiàn)代先進(jìn)制造的重要方向，其水平高低也是體現(xiàn)一個(gè)國(guó)家綜合實(shí)力的標(biāo)志之一。如何研制出面向微納光學(xué)結(jié)構(gòu)制造的光刻裝備是相關(guān)科研工作者不懈的追求。
打破多年技術(shù)壁壘，11月29日，國(guó)家重大科研裝備研制項(xiàng)目 超分辨光刻裝備研制 通過(guò)驗(yàn)收，該裝備用365nm波長(zhǎng)的紫外光單次成像實(shí)現(xiàn)了22nm的分辨率，為光學(xué)超材料/超表面、第三代光學(xué)器件、傳感芯片等納米光學(xué)加工提供了全新的解決途徑。該事件一經(jīng)報(bào)道，讓業(yè)內(nèi)沸騰不已，業(yè)內(nèi)相關(guān)企業(yè)借勢(shì)宣傳。
國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)是 真牛 還是 吹牛 ？專家對(duì)此爭(zhēng)議不斷。一些媒體更是夸大報(bào)道，《國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)偉大突破，國(guó)產(chǎn)芯片白菜化在即》《突破荷蘭技術(shù)封鎖，彎道超車》《厲害了我的國(guó)，新式光刻機(jī)將打破 芯片荒 》等謠言肆意傳播，這同樣被一些外行人斷章取義，認(rèn)為半導(dǎo)體芯片大步發(fā)展，實(shí)現(xiàn)發(fā)展。
在此過(guò)程中，不少業(yè)內(nèi)人士或一些專業(yè)媒體從業(yè)者經(jīng)過(guò)專業(yè)判斷與求證，狠狠打擊了不實(shí)報(bào)道。據(jù)悉，等離子體(surface plasmon,SP)光刻機(jī)屬于接觸式光刻，適用于光纖領(lǐng)域、5G天線等特殊應(yīng)用，或者是用于科研領(lǐng)域的單光子探測(cè)器。這對(duì)于實(shí)驗(yàn)室科研、軍工等領(lǐng)域意義突出，可以一定程度上替代現(xiàn)在的e beam光刻。
但肯定科研成果并不意味著可脫離實(shí)際應(yīng)用影響。在項(xiàng)目驗(yàn)收會(huì)上，專家也明確表示用于芯片需要攻克一系列技術(shù)難題，距離還很遙遠(yuǎn)。中科院研制的光刻機(jī)該裝備還不具備用于產(chǎn)線上微電子芯片的制造能力，不能代替微電子芯片的制造。
經(jīng)過(guò)相關(guān)資料和查詢，世界上SP光刻機(jī)的研究機(jī)構(gòu)極少，主流的光刻機(jī)生產(chǎn)商都未投入相關(guān)的研究。主要原因被認(rèn)為是無(wú)法應(yīng)用于商用芯片的制造，該技術(shù)存在應(yīng)用缺陷。當(dāng)然，這并不是說(shuō)否定科研成果，需要注意的是，在光刻機(jī)領(lǐng)域，還需要很長(zhǎng)時(shí)間的研究投入和持續(xù)探索。
隨著人工智能的技術(shù)發(fā)展，以及物聯(lián)網(wǎng)、節(jié)能環(huán)保、新能源等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)推動(dòng)，半導(dǎo)體的市場(chǎng)需求將持續(xù)增加。前瞻網(wǎng)數(shù)據(jù)顯示，2018年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備銷售額預(yù)計(jì)達(dá)到118.1億美元?？v觀我國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)，半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率為20%，國(guó)內(nèi)市場(chǎng)被國(guó)外巨頭壟斷。這一市場(chǎng)現(xiàn)狀正同樣倒逼著相關(guān)技術(shù)的迫切研發(fā)。
說(shuō)到底，在光刻機(jī)研制方面，科學(xué)家正歷經(jīng)漫漫長(zhǎng)路。唯成果論本就不是科學(xué)正確的態(tài)度。對(duì)待科技的每一次突破，社會(huì)各界都應(yīng)理性對(duì)待，戒驕戒躁，既不夸大其詞，也不妄自菲薄，還科研創(chuàng)新一個(gè)健康、公正、積極的利好環(huán)境。
[{"ID":"124960","HomeTitle":"","Title":"島津在津建設(shè)液壓設(shè)備新工廠 應(yīng)對(duì)中國(guó)市場(chǎng)叉車需求增長(zhǎng)","CreateTime":"2019/8/27 10:46:07","Summary":"島津制作所的中國(guó)子公司天津島津液壓有限公司(簡(jiǎn)稱：TSH)于11月在天津市西青經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)著手建設(shè)生產(chǎn)叉車專用液壓齒輪泵和控制閥的新工廠。"},{"ID":"124908","HomeTitle":"四項(xiàng)校準(zhǔn)規(guī)范征集意見(jiàn)稿發(fā)布","Title":"《GNSS導(dǎo)航信號(hào)采集回放儀校準(zhǔn)規(guī)范》等四個(gè)征求意見(jiàn)稿發(fā)布","CreateTime":"2019/8/21 11:11:14","Summary":"8月20日，根據(jù)全國(guó)衛(wèi)星導(dǎo)航應(yīng)用專用計(jì)量測(cè)試技術(shù)委員會(huì)規(guī)范制修訂計(jì)劃，全國(guó)衛(wèi)星導(dǎo)航應(yīng)用專用計(jì)量測(cè)試技術(shù)委員會(huì)秘書(shū)處已組織完成了《GNSS導(dǎo)航信號(hào)采集回放儀校準(zhǔn)規(guī)范》（征求意見(jiàn)稿）、《行駛記錄儀校準(zhǔn)規(guī)范》（征求意見(jiàn)稿）、《基于導(dǎo)航衛(wèi)星的陸地定向系統(tǒng)校準(zhǔn)規(guī)范》（征求意見(jiàn)稿）、《星敏感器校準(zhǔn)規(guī)范》（征求意見(jiàn)稿），現(xiàn)面向社會(huì)公開(kāi)征求意見(jiàn)。"},{"ID":"124777","HomeTitle":"","Title":"長(zhǎng)春理工大學(xué)教學(xué)專用儀器采購(gòu)項(xiàng)目中標(biāo)結(jié)果公告","CreateTime":"2019/8/8 17:29:18","Summary":""},{"ID":"124678","HomeTitle":"","Title":"903萬(wàn) 半導(dǎo)體所采購(gòu)兩套大型科學(xué)儀器","CreateTime":"2019/7/31 11:49:07","Summary":"1956年，在我國(guó)十二年科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠(yuǎn)景規(guī)劃中，半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)被列為當(dāng)時(shí)國(guó)家新技術(shù)四大緊急措施之一。為了創(chuàng)建中國(guó)半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的研究發(fā)展基地，我國(guó)于1960年9月6日在北京成立中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所(以下簡(jiǎn)稱“半導(dǎo)體所”)，開(kāi)啟了中國(guó)半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的發(fā)展之路。"},{"ID":"124667","HomeTitle":"等離熱電子光探測(cè)器研究取得進(jìn)展","Title":"固體所在等離熱電子光探測(cè)器研究上取得重要進(jìn)展","CreateTime":"2019/7/31 8:34:39","Summary":"近日，中國(guó)科學(xué)院固體物理研究所傳來(lái)好消息，稱固體所制備出了高探測(cè)率、快響應(yīng)速度的等離熱電子光探測(cè)器。"},{"ID":"124663","HomeTitle":"","Title":"小動(dòng)物精準(zhǔn)放療平臺(tái)中標(biāo)結(jié)果公告","CreateTime":"2019/7/30 11:08:20","Summary":""},{"ID":"124355","HomeTitle":"半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)委員調(diào)整","Title":"全國(guó)半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)委員調(diào)整公示","CreateTime":"2019/7/3 8:40:03","Summary":"近日，工信部發(fā)布了一則關(guān)于全國(guó)半導(dǎo)體器件標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)及其分立器件分技術(shù)委員會(huì)委員調(diào)整的公示。"},{"ID":"124344","HomeTitle":"安全帽事關(guān)重大 科學(xué)檢測(cè)必不可少","Title":"安全帽質(zhì)量事關(guān)重大 科學(xué)檢測(cè)必不可少","CreateTime":"2019/7/2 13:56:51","Summary":"今天一大早小編在騎車途中遇到了一位工人在駕駛電動(dòng)車過(guò)程中因拒絕佩戴安全帽而與交警發(fā)生爭(zhēng)執(zhí)的事情。其實(shí)類似事件屢見(jiàn)不鮮，不少市民覺(jué)得佩戴安全帽麻煩便把安全帽放在了后備箱，行車途中為了避免交警盤(pán)查總是會(huì)繞道而行。雖然不少人能一時(shí)逃過(guò)交警的盤(pán)查，但是生命安全卻存在較大威脅。"}]
