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放大字體  縮小字體    發(fā)布日期:2019-09-02  來源:儀器信息網(wǎng)  作者:Mr liao  瀏覽次數(shù):941
核心提示:原裝進(jìn)口MYCRO光刻機(jī),包含EM-5026M1, EM-5086, EM-5026B,EM-5026AM四個型號,是全球ling先的光刻系統(tǒng),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)域。并且該系列的光刻機(jī)已經(jīng)被眾多著名企業(yè)、研發(fā)中心、研究所和高校采用,作為他們光刻系統(tǒng)的首選;其優(yōu)秀的技術(shù)、精湛的工藝和良好的服務(wù),贏得了廣大用戶的青睞。紫外曝光機(jī)作為光刻系統(tǒng),zui重要的技術(shù)在于以下兩個方面:掩模-晶圓片對準(zhǔn),以及將掩模版上的圖案復(fù)制到晶圓片上,為下一步進(jìn)行可是或者離子注入工序做好準(zhǔn)備。MYCRO紫

 

原裝進(jìn)口MYCRO光刻機(jī),包含EM-5026M1, EM-5086, EM-5026B,EM-5026AM四個型號,是全球ling先的光刻系統(tǒng),廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子、生物器件和納米科技領(lǐng)域。并且該系列的光刻機(jī)已經(jīng)被眾多著名企業(yè)、研發(fā)中心、研究所和高校采用,作為他們光刻系統(tǒng)的首選;其優(yōu)秀的技術(shù)、精湛的工藝和良好的服務(wù),贏得了廣大用戶的青睞。紫外曝光機(jī)作為光刻系統(tǒng),zui重要的技術(shù)在于以下兩個方面:掩模-晶圓片對準(zhǔn),以及將掩模版上的圖案復(fù)制到晶圓片上,為下一步進(jìn)行可是或者離子注入工序做好準(zhǔn)備。MYCRO紫外曝光機(jī)/光刻系統(tǒng)的曝光方式,是采用可調(diào)節(jié)壓力的接觸式曝光,有效降低了光刻膠對掩模版的污染以及掩模版的磨損,從而提高掩模版的壽命。因此,MYCRO紫外曝光機(jī)/光刻系統(tǒng)以其極高的性價比而讓人印象深刻。 曝光機(jī)/光刻系統(tǒng)的組件主要包含:紫外光源構(gòu)造帶托盤的晶片工作臺配CCD鏡頭的顯微鏡監(jiān)視器掩膜夾具紫外光源透鏡紫外光源鏡片紫外燈電源系統(tǒng)操作控制器350W紫外燈 需要更詳細(xì)的產(chǎn)品資料,請與邁可諾技術(shù)有限公司中國營銷服務(wù)中心區(qū)域辦公室! / 轉(zhuǎn)813(北京) / 轉(zhuǎn)823(上海) / 轉(zhuǎn)833(廣州) / 轉(zhuǎn)843(武漢): sales@mycro.com.cn website: http://www.mycro。。com.cn  :
 
關(guān)鍵詞: 光刻 曝光 系統(tǒng) 模版 光源
 
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