DISCO DAD3350半自動(dòng)切割機(jī)




 

DAD3350半自動(dòng)切割機(jī)操作規(guī)范

 該設(shè)備 主 要 工 作 原 理 為 利 用 高 速 旋 轉(zhuǎn) 的 主 軸 帶 動(dòng) 刀 片 高 速 旋 轉(zhuǎn)

（30000r/min）在待切割樣品表面進(jìn)行預(yù)設(shè)程序的直線切割，切割時(shí)通有高

純度的切割水對(duì)刀片和主軸進(jìn)行冷卻。通過(guò)X軸、 軸、Y軸和Z軸控制樣品切

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割方向及切割高度，其中X軸負(fù)責(zé)待切割樣品的水平方向傳遞、 軸負(fù)責(zé)待切

割樣品的平面旋轉(zhuǎn)角度，Y軸負(fù)責(zé)刀片進(jìn)刀方向，Z軸負(fù)責(zé)切割高度的控制（如

2所示），同時(shí)該設(shè)備還配置了觸摸式液晶顯示器及形化用戶接口，裝配

了自動(dòng)校準(zhǔn)、自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)檢查刀痕寬度等影響識(shí)別系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)切

割參數(shù)及程序的設(shè)定，并通過(guò)加工條件顯示畫面，對(duì)工作狀態(tài)和設(shè)備運(yùn)

行狀態(tài)進(jìn)行同步監(jiān)控，保障切割完成質(zhì)量。

3、 設(shè)備功能和規(guī)格指標(biāo)：

（1）設(shè)備功能：該設(shè)備通過(guò)配置不同的切割刀，能夠?qū)杵?、陶瓷、玻璃?/p>

難加工材料進(jìn)行切割加工（目前配制了可切割硅片、玻璃、石英的切割刀，若有

其他材料片子需要切割請(qǐng)工藝工程師詳細(xì)了解）。zui大加工尺寸為 8英寸

及其以下不規(guī)則樣品（zui小加工尺寸為 2mm）。

（2）規(guī)格指標(biāo)：

加工物尺寸（mm）及厚度（mm）范圍 2~ 200、0.1~1.5

主軸

配置方式 單主軸

額定功率（KW） 1.8

zui大轉(zhuǎn)速（/min） 60000

X 軸 進(jìn)刀速度有效范圍（mm/s） 0.1-600

Y 軸 zui小步進(jìn)量（mm） 0.0001

定位精度（mm） 0.003 以內(nèi)/260

Z 軸 重復(fù)定位精度（mm） 0.001

標(biāo)準(zhǔn)對(duì)應(yīng)刀片直徑（mm） 58

刀痕寬度 硅片（ m） 50~60

玻璃（ m） 200~300

4、設(shè)備說(shuō)明：

 該設(shè)備為 DISCO DAD3350 半自動(dòng)切割機(jī)，附屬設(shè)備為 DISCO DWR1720 水

循環(huán)系統(tǒng)，為切割機(jī)提供高純度恒溫切割水，實(shí)物如 3 所示， 4 為 DAD3350

設(shè)備說(shuō)明。

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3 DWR1720和DAD3350實(shí)物

4 設(shè)備說(shuō)明

5、開機(jī)操作：開機(jī)時(shí)間約 30min，請(qǐng)?zhí)崆鞍才拧?/p>

（1）打開DAD3350機(jī)柜背面墻上的排風(fēng)開關(guān)，此時(shí)排風(fēng)指示燈會(huì)亮起（紅色）。

注意電源指示燈為一直打開的（綠色）。如5所示。

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5 排風(fēng)開關(guān)及指示燈

（2）打開水循環(huán)系統(tǒng)DWR1720：

先打開DWR1720機(jī)柜背面的壓縮空氣開關(guān)（位置如6所示）；

然后再打開兩個(gè)冷卻水開關(guān)，先打開冷卻水 out 閥門，再打開冷卻水IN

閥門（7所示為off狀態(tài) 8所示為on狀態(tài)）；

zui后打開自來(lái)水開關(guān)（9所示，向左逆時(shí)針為關(guān)，向右順時(shí)針為開）。

6 水、氣開關(guān)位置

排風(fēng) 開

排風(fēng)啟動(dòng)指示燈

水、氣開關(guān)

位置

排風(fēng) 關(guān)

電源指示燈

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7 氣體off和冷卻水off 8 氣體on和冷卻水on

9 自來(lái)水開關(guān)

（3）檢查DWR1720背面黑色電源開關(guān)是否在0N檔位。如10所示，若不在ON

檔位將其打至ON檔位，此開關(guān)平時(shí)關(guān)機(jī)時(shí)不關(guān)閉（為防止設(shè)備發(fā)生漏水情

況時(shí)無(wú)法報(bào)警）。

10 DWR1720電源開關(guān)

（4）打開DWR1720 LED屏開關(guān)：如11所示，將鑰匙旋轉(zhuǎn)到ON，再旋轉(zhuǎn)到

START等待一秒以上，至11所示指示燈亮起后松開，鑰匙會(huì)自動(dòng)回復(fù)到

ON檔位，此時(shí)LED顯示屏開啟如12所示，點(diǎn)擊右下角START按鈕，設(shè)備

自來(lái)水開關(guān)

壓縮空氣 壓縮氣體

冷卻水 IN

冷卻水out

冷卻水 IN

冷卻水 out

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開始運(yùn)轉(zhuǎn)。（注意勿點(diǎn)擊該顯示屏上任何其他開關(guān)及改動(dòng)任何參數(shù)數(shù)字，

若改動(dòng)將使設(shè)備無(wú)法正常運(yùn)行）為了使切割所用的切割水純凈度保持良好，

該設(shè)備打開后需等待CLEAN 15min。

11 DWR1720 LED屏開關(guān)

12 DWR1720 LED顯示屏

（5）檢查DAD3350機(jī)柜背面黑色電源開關(guān)（ON為開，見13），若不在ON檔

LED屏開關(guān)

指示燈

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位打到ON上。此開關(guān)平時(shí)關(guān)機(jī)時(shí)不關(guān)閉（因?yàn)榇嗽O(shè)備配置了UPS，防止其

將電耗光）。

13 DAD3350電源開關(guān)

（6）打開DAD3350 LED屏POWER開關(guān)：見14，將鑰匙旋轉(zhuǎn)到ON，再旋轉(zhuǎn)到

START檔位等待一秒以上，至15所示指示燈亮起后松開，此時(shí)鑰匙會(huì)自

動(dòng)回復(fù)到ON檔位，同時(shí)LED觸摸屏及設(shè)備開始運(yùn)轉(zhuǎn)，如15所示。等待約

1-2min后LED顯示屏顯示出主界面，如16所示，檢查壓縮空氣氣壓是否

在0.5MPa以上，若低于此值請(qǐng)勿執(zhí)行以下操作并通知設(shè)備工程師。

14 DAD3350 LED POWER開關(guān)

LED power開關(guān)

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15 DAD3350 LCD顯示屏啟動(dòng)中

16 DAD3350主界面

（7）在0.0界面點(diǎn)擊系統(tǒng)初始化，等待系統(tǒng)自動(dòng)初始化完成。如17所示。

0.5Mpa以上

指示燈

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17 系統(tǒng)初始化

（8）等DWR1720水系統(tǒng)15min CLEAN完成后在0.0界面點(diǎn)擊主軸電極使其開啟，

等待主軸旋轉(zhuǎn)到30000r/min后點(diǎn)擊切割水將其開啟，使刀片做15min的

WARM UP（見18所示）。完成后再點(diǎn)擊主軸電機(jī)和切割水將其關(guān)閉。

系統(tǒng)初始化

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18 WARM UP操作

（8）此時(shí)開機(jī)操作結(jié)束。在等待時(shí)間內(nèi)將需要切割的樣品片貼膜準(zhǔn)備好(使樣品

片處于框架的正中心位置，背面完全無(wú)氣泡（如19所示），若有氣泡將

會(huì)導(dǎo)致切割片子不平整進(jìn)而影響切割高度)。

19 待切割樣品

6、切割操作：

（1）進(jìn)入 4.3 界面（ 22 所示），進(jìn)行刀片測(cè)高操作（該高度表示的是切割刀

與 TABLE 工作臺(tái)表面之間的高度）。點(diǎn)擊 F4 進(jìn)行敏感器校準(zhǔn)測(cè)高（ 23 所示），

點(diǎn)擊 START 等待測(cè)高完成。完成后依次點(diǎn)擊 EXIT 退回 0.0 主界面。注意每次

切割均需要先測(cè)高（因?yàn)槊看问褂煤蟮镀紩?huì)有一定量的磨損導(dǎo)致高度發(fā)生變

主軸

電極 切割水

框架

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化），若是剛開機(jī)和換新刀進(jìn)行 F4 敏感器校準(zhǔn)測(cè)高，若不是剛開機(jī)和換刀而是

同一把刀接著切割實(shí)驗(yàn)時(shí)，進(jìn)行 F3 非接觸式測(cè)高。

22 刀片測(cè)高界面

23 敏感器校準(zhǔn)測(cè)高界面

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（2）將貼膜好(背面完全無(wú)氣泡，否則會(huì)影響切割高度)需要切割的樣品及框架

放置于切割臺(tái)上，放置時(shí)需要找準(zhǔn)位置，將框架上的兩個(gè)缺角對(duì)準(zhǔn)切割臺(tái)

的兩個(gè)螺釘放置，如 24 所示。然后將樣品腔門關(guān)閉，點(diǎn)擊 0.0 界面上的

C/T 真空（如 25 所示）其真空值需在-89 左右（若高于此值請(qǐng)停止以下

操作并通知設(shè)備及工藝工程師，以防發(fā)生意外），確保待切割樣品與 TABLE

吸附好。

24 切割樣品放置

螺釘1 螺釘2

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25 C/T 真空

（3）進(jìn)入 3.0 界面選擇/創(chuàng)建切割文件（ 26 所示）。可以在原有的切割文件上

做拷貝后修改。然后點(diǎn)擊 ENTER，進(jìn)入?yún)?shù)修改界面（ 27 所示）。

26 型號(hào)參數(shù)目錄

C/T真空

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（4）編輯切割參數(shù)：在 3.1.2 界面（ 27 所示），需要設(shè)置的參數(shù)為以下參數(shù)：

①尺寸：系統(tǒng)默認(rèn)以樣品臺(tái)中心為切割片中心，而切割時(shí)為防止碎刀，需

要有一定量的空切，由于貼片時(shí)不能完全保證樣品在框架的中心，因此設(shè)

置尺寸參數(shù)時(shí)需要在原始尺寸上加上 30mm 的余量，以防止出現(xiàn)碎刀，從

而破壞切割刀片，一旦出現(xiàn)碎刀，該刀片即刻報(bào)廢不能再使用。

②晶片厚度：即待切割樣品的厚度，到 0.001mm，需要實(shí)驗(yàn)前自己測(cè)

試好。

③膜片厚度：即所貼膜的厚度，到 0.001mm，該參數(shù)為已知參數(shù)。

④CH1 和 CH2 的刀片高度：該高度為切割剩余高度，即切割時(shí)樣品臺(tái)與刀

片之間的高度。切割時(shí)要求不能將膜切透從而破壞樣品臺(tái)，因此該高度不

能小于 0.06mm。

⑤進(jìn)刀速度：即切割時(shí)刀片的移動(dòng)速度，該參數(shù)需要通過(guò)實(shí)驗(yàn)工藝獲得并

調(diào)整，設(shè)置時(shí)請(qǐng)與工藝工程師溝通再設(shè)置。一般切割較硬的樣品時(shí)，進(jìn)刀

速度不宜過(guò)快。

⑥Y 軸移動(dòng)量：即每刀之間的間隔量。

注意切割參數(shù)必須設(shè)置準(zhǔn)確，并且其余參數(shù)勿改動(dòng)，否則會(huì)發(fā)生碎刀。設(shè)

置每個(gè)參數(shù)后都要點(diǎn)擊 ENTER 進(jìn)行保存。設(shè)置完成后點(diǎn)擊 EXIT 退回 0.0

界面。

27 型號(hào)參數(shù)設(shè)置

（5）定義切割方式：進(jìn)入 2.0 界面（ 28 所示），點(diǎn)擊 F4 進(jìn)入半自動(dòng)切割 2.4

界面 ( 29 所示)，點(diǎn)擊 F4 進(jìn)入手動(dòng)校準(zhǔn) 2.4.4 界面 ( 30 所示)。

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28 手動(dòng)操作界面

29 半自動(dòng)切割界面

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30 手動(dòng)校準(zhǔn)界面

①首先進(jìn)行拉直操作（目的為使切割基準(zhǔn)線與劃片槽完全重合），如30所示，

點(diǎn)擊左側(cè)像顯示區(qū)域找到劃片槽或切割位置，點(diǎn)擊F4和F9進(jìn)行基準(zhǔn)線寬度調(diào)整

使其與劃片槽寬度大小一致。

②點(diǎn)擊SCAN窗口的方向按鈕調(diào)節(jié)基準(zhǔn)線位置使其處于劃片槽中心位置（如31

所示），注意SCAN調(diào)節(jié)時(shí)zui后一下必須是點(diǎn)擊向上的按鈕，以后任何SCAN調(diào)節(jié)

時(shí)都是如此。

③點(diǎn)擊F5 角校正，像會(huì)切換到水平位置的另外一邊，再次點(diǎn)擊SCAN窗口的方

向按鈕調(diào)節(jié)基準(zhǔn)線位置使其處于同一切割道中心位置，然后再次點(diǎn)擊F5回到起始

位置。

④反復(fù)幾次以上操作直到反復(fù)切換F5后基準(zhǔn)線不再偏移切割道為止。

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31 手動(dòng)校準(zhǔn)界面

（6）設(shè)置切割位置：2.4.4 界面設(shè)置完成之后點(diǎn)擊 ENTER，進(jìn)入 2.4 界面如

32 所示。在像顯示區(qū)域點(diǎn)擊調(diào)整基準(zhǔn)線到需要切割的位置，設(shè)置切割刀

數(shù)，點(diǎn)擊向后/向前切割保存參數(shù)（注意其余參數(shù)均不需設(shè)置和修改，否則

會(huì)導(dǎo)致碎刀）。設(shè)置完成后，點(diǎn)擊 START。此時(shí)設(shè)備開始自動(dòng)切割。

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32 半自動(dòng)切割界面

(7) 切割界面：切割時(shí)界面如33所示，系統(tǒng)會(huì)根據(jù)設(shè)置自動(dòng)進(jìn)行切割刀數(shù)計(jì)

算和刀痕檢查以及測(cè)高檢查。在此過(guò)程中需要注意出現(xiàn)的報(bào)警情況，若出現(xiàn)需要

及時(shí)設(shè)備及工藝工程師進(jìn)行參數(shù)修改。

注：①刀痕檢查為系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)行，目的為保證切割質(zhì)量，若超過(guò)設(shè)置量則會(huì)出現(xiàn)

報(bào)警并停止切割。其具體檢查參數(shù)為：

刀痕點(diǎn)數(shù)：60%，小于該值會(huì)發(fā)生報(bào)警；

刀痕寬度：上0.05mm，下0.02mm，大于任意一個(gè)值時(shí)會(huì)報(bào)警；

偏離中心線：0.010mm，大于該值時(shí)會(huì)報(bào)警；

容許崩砕尺寸：0.050mm，大于該值時(shí)會(huì)報(bào)警；

崩砕面積：500pi el，大于該值會(huì)報(bào)警。

②測(cè)高檢查為系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)行，目的為及時(shí)測(cè)試刀片磨損情況，保證切割質(zhì)量。

其具體檢查參數(shù)為：

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33 切割界面

（8）切割完成后系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)報(bào)警停止如34所示，此時(shí)點(diǎn)擊右上角解除/警報(bào)即

可。點(diǎn)擊EXIT退回0.0主界面。然后關(guān)閉C/T真空，打開樣品腔，用吹氣qiang將樣品

表面的水和樣品臺(tái)的水吹干后如35所示（注意需將TABLE表面及周圍的水吹

干，防止雜質(zhì)堵塞陶瓷表面），將樣品取出。此時(shí)切割流程完成。

34 切割完成界面

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35 取樣

（9）若接著切割重復(fù)（1）-（8）操作。

7、關(guān)機(jī)操作：

（1）將樣品室關(guān)閉，在 0.0 界面點(diǎn)擊系統(tǒng)初始化。

16 系統(tǒng)初始化

（2）關(guān)閉 DAD 3350 的 LED 屏 POWER。將 13 所示鑰匙轉(zhuǎn)到 off。（若長(zhǎng)期

關(guān)機(jī)需要關(guān)閉 DAD 3350 背面黑色電源開關(guān)，將其打至 OFF 檔，如 12

所示。再依次關(guān)閉 UPS 的 POWER 開關(guān)和閥門開關(guān)。平時(shí)關(guān)機(jī)無(wú)此操作。）

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13 DAD3350 LED屏 POWER開關(guān)

12 DAD3350電源開關(guān)

（3）點(diǎn)擊 DWR1720 的 LED 顯示屏上的 STOP 按鈕，然后再點(diǎn)擊 STOP，如

34 所示。等待設(shè)備和泵運(yùn)行停止后（約 1-2min）， 將 LED 屏的開關(guān)鑰匙

轉(zhuǎn)到 OFF 檔，如 35 所示。（若長(zhǎng)期關(guān)機(jī)需將 DWR1720 背面黑色電源開

關(guān)打至 OFF 檔，如 9 所示。平時(shí)關(guān)機(jī)無(wú)此操作）。

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34 關(guān)閉DWR1720 LED屏

35 關(guān)閉DWR1720 POWER

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9 DWR1710電源開關(guān)

（4）首先關(guān)閉DWR1750背面的壓縮空氣開關(guān)；

然后再關(guān)閉兩個(gè)冷卻水開關(guān)（6所示為off狀態(tài) 7所示為on狀態(tài)），先關(guān)

冷卻水IN，再關(guān)閉冷卻水out；

zui后關(guān)閉自來(lái)水開關(guān)（8所示，向左逆時(shí)針為關(guān)，向右順時(shí)針為開）。

關(guān)機(jī)完畢。

6 氣體off和冷卻水off 7 氣體on和冷卻水on

壓縮空氣 壓縮氣體

冷卻水 IN

冷卻水 out

冷卻水 IN

冷卻水out

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8 自來(lái)水開關(guān)

（4）摁下DAD3350背面墻壁上的排風(fēng) 關(guān)按鈕關(guān)閉排風(fēng)，此時(shí)排風(fēng)啟動(dòng)指示燈

熄滅（紅色熄滅），如4所示，注意電源指示燈（綠色）為一直開啟的。

關(guān)機(jī)完畢。

4 電源及排風(fēng)開關(guān)

8、安全注意事項(xiàng)：

（1）DWR1720水循環(huán)系統(tǒng)顯示屏上的參數(shù)均為調(diào)試設(shè)置好的參數(shù)，請(qǐng)勿改動(dòng)，

否則無(wú)法進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。

（2）DWR1720水循環(huán)系統(tǒng)的自來(lái)水開關(guān)實(shí)驗(yàn)結(jié)束必須關(guān)閉，以防發(fā)生跑水。

（3）DAD3350切割機(jī)換刀操作必須由設(shè)備工程師進(jìn)行，請(qǐng)勿自己換刀，以免發(fā)

生危險(xiǎn)。

（4）DWR1720和DAD3350出現(xiàn)警報(bào)信息時(shí)，除切割完成時(shí)的警報(bào)，均需要通知

設(shè)備工程師或工藝工程師后再解決，不可擅自做主。

（5）切割參數(shù)設(shè)置時(shí)，切勿修改操作規(guī)程上沒有規(guī)定修改的參數(shù)，若有特殊需

自來(lái)水開關(guān)

排風(fēng) 開

排風(fēng) 關(guān)

排風(fēng)啟動(dòng)指示燈 電源指示燈

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要需工藝工程師后進(jìn)行修改。

（6） 切割進(jìn)行時(shí)，勿隨意打開樣品蓋和防水蓋。

（7）該設(shè)備要求尺寸參數(shù)一定要（0.001mm），因此設(shè)置參數(shù)前請(qǐng)事先測(cè)

試好片子的尺寸、厚度等基本信息。

（8）不準(zhǔn)動(dòng)計(jì)算機(jī)的系統(tǒng)程序、輔助文件和其他人的子目錄。不準(zhǔn)動(dòng)設(shè)備的任

何部分，包括零件、部件等。

9、常見問題與解決方法：

（1）問題：

原因：

解決方法：

10、參考資料：

 DAD3350半自動(dòng)切割機(jī)中文操作手冊(cè)

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