91儀器信息網(wǎng)訊 2019年4月3日，日立高新技術(shù)公司(TSE：8036，日立高新技術(shù))正式推出中型掃描電鏡“SU3800”與大型掃描電鏡“SU3900”?！钶d多功能超大樣品倉，進一步提高操作性能。上述機型在支持超大/超重樣品測試的同時，還通過自動化操作和大視野相機導(dǎo)航功能，大幅提升了操作性能。

SU3800

SU3900

【產(chǎn)品背景】

在以納米技術(shù)和生物技術(shù)為主的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域里，從物質(zhì)的微細結(jié)構(gòu)到組成成分，SEM在多種多樣的觀察與分析中得到了靈活應(yīng)用。SEM用途日益擴大，但對于鋼鐵等工業(yè)材料和汽車零配件等超大/超重樣品，由于電鏡樣品臺能對應(yīng)的樣品尺寸和重量受到限制，所以觀察時需要進行切割等加工。因此，對超大樣品不施以加工處理，便可直接觀察表面微細形貌和進行各種分析則成為重要的課題。

近年來為了實現(xiàn)各種材料的高功能化和高性能化，需要觀察并優(yōu)化材料的微細結(jié)構(gòu)。目前SEM的應(yīng)用除了以往的研究開發(fā)以外，已擴展到質(zhì)量和生產(chǎn)管理方面，使用頻率日益高漲。同時市場也對儀器的操作性能提出了更高的要求，以進一步減輕操作人員的負擔。

此次發(fā)售的“SU3800”與“SU3900”，支持超大/超重樣品的觀察，特別是大型掃描電鏡“SU3900”，可選配最大直徑300mm *1、最大承重5kg樣品(比前代機型提高2.5倍*2)的樣品臺，即使是超大樣品也無需切割加工即可觀察。

同時操作性能也得到了全面升級。樣品安裝完成后，通過自動光路調(diào)整及各種自動功能調(diào)整圖像，隨后可立即獲得樣品圖像，真正實現(xiàn)了快速觀察。

前代機型是僅僅通過CCD導(dǎo)航相機的單一彩色圖像尋找視野*3。新機型則通過旋轉(zhuǎn)樣品臺，分別拍攝樣品各個部分，再將各個圖像拼接成1張大圖像，實現(xiàn)了大視野的相機導(dǎo)航觀察，十分適用于超大樣品的大范圍觀察。

另外，日立高新技術(shù)預(yù)計于4月29日(星期一)至5月1日(星期三)在美國(克利夫蘭)舉辦的“CeramicsExpo ”及5月7日(星期二)至5月10日(星期五)在德國(斯圖加特)舉辦的“33rd Control ”以及9月4日(星期三)至9月6日(星期五)在日本(幕張展覽館)舉辦的展覽會上進行實機展示。

作為最先進、最前沿的事業(yè)創(chuàng)新型企業(yè)，日立高新技術(shù)集團以成為提供高新技術(shù)和解決方案的全球一流企業(yè)為目標，始終從客戶立場出發(fā)，快速滿足客戶和市場需求。

*1 直徑為300mm的樣品臺，與前代機型“S-3700N”一樣

*2 指與前代機型 “S-3700N”的比較。但比較的內(nèi)容僅限于樣品臺平面移動時的限制重量

*3 尋找視野：指測量開始時，確認當前測量樣品位置的操作

【主要特點】

(1) 支持超大/超重樣品測試

可搭載的最大樣品尺寸：“SU3800” 標配可搭載直徑200mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對最大高度為80mm、重量為2kg的樣品。 “SU3900”作為日立高新技術(shù)的大型掃描電鏡，標配可搭載最大直徑300mm樣品的樣品倉，可應(yīng)對最大高度為130mm、重量為5kg(比前代機型提高2.5倍*2)的樣品

(2) 支持大視野觀察

■“SU3800”與“SU3900”的最大觀察范圍分別是：直徑130mm、直徑200mm

■安裝有“SEM MAP”導(dǎo)航功能，只需在導(dǎo)航畫面上指定觀察目標位置，即可移動視野

■安裝有“Multi Zigzag”系統(tǒng)，可在不同的視野自動拍攝多張高倍率圖像，并將取得的圖像拼接在一起，生成大視野高像素圖像

(3) 通過自動化功能提高操作性能

■通過自動光路調(diào)整和各種自動化功能，樣品設(shè)置完后立即可以開始觀察。關(guān)于圖像調(diào)整，自動功能執(zhí)行時的等待時間比前代機型*4縮短了三分之一以下

■安裝有“Intelligent Filament Technology(IFT)”軟件，自動監(jiān)控鎢燈絲*5的狀況，顯示預(yù)計的更換時期。在長時間的連續(xù)觀察和顆粒度解析等大視野分析時，也可避免長時間測試過程中因鎢燈絲使用壽命到期所造成的中斷觀察。

*4. 指與前代機型 “S-3700N”的比較。

*5. 鎢燈絲：在真空中，通電加熱后產(chǎn)生熱電子的鎢燈絲作為電子源的核心部件，起到光源作用。

【主要規(guī)格】

二次電子像分辨率

3.0nm (加速電壓：30kV、高真空模式)

15.0nm (加速電壓：1kV、高真空模式)

背散射電子像分辨率

4.0nm (加速電壓：30kV、低真空模式)

加速電壓

0.3～30kV

倍率

×5～×300,000 (底片倍率)、×7～×800,000 (顯示倍率)

樣品臺

X：0～100mm、Y：0～50mm、Z：5～65mm、T：-20 ～90 、R：360

X：0～100mm、Y：0～50mm、Z：5～65mm、T：-20 ～90 、R：360

可搭載樣品最大尺寸

直徑200mm

直徑300mm

可觀察最大范圍

直徑130mm(R聯(lián)用)

直徑200mm(R聯(lián)用)

最大樣品高度

80mm(WD=10mm)

130mm(WD=10mm)