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Regulus8100冷場發(fā)射掃描電鏡
Regulus8100保留了SU8010易維護(hù)、易操作等優(yōu)點，進(jìn)一步提高性能，1kV減速模式下最高分辨率達(dá)到了1.1nm，15kV達(dá)到0.8nm，高低電壓均可滿足高分辨的觀察。
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場發(fā)射掃描電鏡
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