掃描延伸電阻顯微鏡簡介-上海光學(xué)儀器一廠

掃描延伸電阻顯微鏡（Scanning Spreading Resistance Microscope：SSRM）是掃描探針顯微技術(shù)代表性儀器之一，
掃描延伸電阻顯微儀可對映出樣品表面隱含的電導(dǎo)率或電阻率的二維分佈對比影像，且有極佳的空閒解析(奈米尺度，約15nm)，

常運(yùn)用在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對映出半導(dǎo)體內(nèi)的載子濃度分佈。SSRM的工作機(jī)制，系在導(dǎo)電探針與樣品間施以一可調(diào)節(jié)的直流電壓，

并擷取出流經(jīng)樣品的電流及流經(jīng)參考電阻的電流，經(jīng)由對數(shù)運(yùn)算即可求得RSR，對應(yīng)出試片表面電導(dǎo)率或電阻率的二維分佈對比影像。