上光儀器-工具顯微鏡自動(dòng)對焦的原理

自動(dòng)對焦的原理

系統(tǒng)可進(jìn)行XY水平量測。但是僅憑CCD攝像機(jī)影像，系統(tǒng)
無法進(jìn)行高度量測。系統(tǒng)通常都具備自動(dòng)對焦機(jī)制，用于高度
測量。以下向您介紹使用普通影像的自動(dòng)對焦機(jī)制，雖然有些
系統(tǒng)可能使用激光自動(dòng)對焦。

系統(tǒng)沿著Z軸上下移動(dòng)CCD，進(jìn)行影像分析。在分析影像對比時(shí)，清晰
的影像表示對比值較大，模糊的影像表示對比值較小。
因此影像對比度最高時(shí)的高度即為焦距高度。