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簡單介紹表面粗糙度誤差-顆粒粗糙度檢測顯微鏡
表面粗糙度誤差
由于準分子激光光刻的能量輸出并不連續(xù),因此會在元件上產(chǎn)
生出如斧鑿般的痕跡,但此痕跡也是在所難免的,表
面粗糙度最大都到達微米(μm)級,相較于光學表面奈米(nm)級
的要求過于粗糙,唯有再加研磨拋光技術(shù),才可消除此波紋。
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