光學(xué)顯微鏡按照照明光源的不同分類有何特點(diǎn)

  幾種類型的顯微技術(shù)及其在微電子產(chǎn)品污染檢驗(yàn)方面的應(yīng)用。顯
微技術(shù)在了解器件結(jié)構(gòu)及污染的內(nèi)在關(guān)系方面己成為一種強(qiáng)有力的檢
驗(yàn)技術(shù)。

  它可以在微米級(jí)范圍內(nèi)觀察器件表面存在的物體。

  各種顯微儀器可歸并為兩類：

  一類是在整個(gè)焦平面內(nèi)同時(shí)顯像；另一類則是用被聚焦的點(diǎn)在指
定區(qū)域內(nèi)運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生圖像。

  光學(xué)顯微鏡和透射式電子顯微鏡都屬于同時(shí)顯象一類，

  照明光學(xué)
  光學(xué)顯微鏡是一種能迅速全面地觀察缺陷和雜質(zhì)粒子的工具。用
這種顯微鏡觀察雜質(zhì)粒子，往往直接就識(shí)別了，并可找出粒子和缺陷
間的關(guān)系及其產(chǎn)生的原因和效應(yīng)。

  反射式和透射式照明系統(tǒng)在光學(xué)顯微鏡中都能使用

  光學(xué)顯微鏡具有一連串的透鏡：聚光鏡、物鏡和目鏡。在反射式
照明系統(tǒng)中，物鏡還兼有聚光鏡的作用。不論是反射光，還是透射光
都有幾種照明形式：即亮視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、偏振光、相位反差以及干涉
反差等。

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