鍍覆層表面形貌和顯微結(jié)構(gòu)分析多功能金相顯微鏡
對(duì)鍍覆層表面形貌和顯微組織分析的主要工具是各種顯微鏡,其中低倍分析多
用光學(xué)顯微鏡,精細(xì)分析常用的是掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡。
顯微鏡的類型與主要功能
不論顯微鏡的激發(fā)源和類型如何,它們的工作原理是大致相同的。以一定的方
式將激發(fā)源照射到被側(cè)樣品上,與樣品相互作用產(chǎn)生了反射光、透射光、透射電
子、二次電子、二次離子等,對(duì)它們處理后再進(jìn)行放大,成像并投射到目鏡或顯示
屏上,就可以觀察、分析鍍覆層的表面形貌和顯微組織了。
透射電鏡的工作原理
高速電子束經(jīng)過聚光鏡聚焦后平行射向并穿透樣品,被散射的電子束經(jīng)物鏡、
中間鏡和投影鏡三級(jí)放大后,在顯示屏上成像。當(dāng)中間鏡物平面與物鏡像平面重合
時(shí)觀察到的是顯微圖像(圖中最終像面上的實(shí)線),而當(dāng)中間鏡物平面與物鏡后焦
面重合時(shí)觀察到的是電子衍射譜(圖中最終像面上的虛線)。為了控制電子束的人
射孔徑角,在物鏡后焦面處裝有物鏡光欄,以獲得最佳的像襯度和分辨率。
襯度是指電子束在顯示屏上成像時(shí)表現(xiàn)出的強(qiáng)度大小,透射電子顯微鏡的襯度
包括振幅襯度、衍射襯度和質(zhì)量厚度襯度等。一般來說,物質(zhì)的厚度和密度越大,
物質(zhì)中原子序數(shù)越高,對(duì)電子的散射角度越大。因此,穿透樣品上厚度和密度較
大、原子散射能力強(qiáng)區(qū)域的電子數(shù)目要少于其他區(qū)域,在顯示屏上的亮度較小,是
成像平面上的暗區(qū)域。所以,透射電子顯微鏡所用的樣品必須加工得很薄,樣品制
備較為復(fù)雜、難度較大。
不過,對(duì)于可剝離的鍍提層來說,經(jīng)過減薄后可直接進(jìn)行觀察和分析。
(本文由上海光學(xué)儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復(fù)制,轉(zhuǎn)載須注明網(wǎng)址http://www.sgaaa.com)
合作站點(diǎn):http://www.xianweijing.org/