應(yīng)用于測量機械零件的形狀的高精度光學(xué)顯微鏡

在機械零件的形狀中，作為基礎(chǔ)的是直線（平而）和圓（圓柱）。

  其中，從機械加工方面看來，一般認為外回切削容易加工。

  因此，在機械零件的形獲中，最常用的是圓往形。

  所以，過去是用二個頂尖將圓棒支起來，在它的圓周上放置千分表
的測量頭，一邊旋轉(zhuǎn)圓柱同時觀察測量頭的振擺，求出圓柱某一斷面上
正圓的偏差，也就是開始采用所謂求取正圓度等的測量方法。

  但是，在求取高精度加工過的圓柱的正圓度時，這就需要高精度的
正圓度測量儀了。

  要確定以理想的幾何學(xué)的正圓（實際上是比測定精度還要高的精度
的圓形）作為基準形狀。因為是基準形狀，要采用進行圓運動的點的軌
跡。因此，在正圓度測量顯微鏡的設(shè)計中，以非常高的精度設(shè)計回轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)
裝置是最重要的事情。

  其次，用這個旋轉(zhuǎn)裝置描繪的基準的圓形和檢測與被測表面的形狀
的偏差的方法，

(本文由上海光學(xué)儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復(fù)制,轉(zhuǎn)載須注明網(wǎng)址http://www.sgaaa.com)