調(diào)焦物鏡進(jìn)行聚焦一般都是最低顯微鏡倍物鏡

  聚焦用調(diào)焦物鏡進(jìn)行聚焦總是應(yīng)以最低倍物鏡為起點(diǎn)，這樣就可
以給出最大的工作距離并使物鏡軋住試樣的可能性減至最小。如果被觀
察的表面是在凹坑中（比如拆去了封裝的集成電路塊），當(dāng)轉(zhuǎn)動(dòng)統(tǒng)調(diào)焦
物鏡進(jìn)行聚焦時(shí)必須謹(jǐn)慎從事，因?yàn)橛酶弑段镧R是不可能看清凹坑壁的。

假如能看到光源燈絲的模糊影子時(shí)，

  這表明物鏡距物體太近了，應(yīng)當(dāng)緩慢地退回。對(duì)于非統(tǒng)調(diào)焦的物鏡，
可把物鏡降低到剛好在試樣表面上（這時(shí)把眼睛置于物體水平面上進(jìn)行
觀察，注意看著間隙）。再把物鏡從物體移開(kāi)進(jìn)行聚焦。

  對(duì)于配備科勒式照明器的儀器，場(chǎng)光闌葉片）將與物體同時(shí)聚焦。

  因此，可把光闌縮小并對(duì)準(zhǔn)某一葉片邊緣進(jìn)行聚焦。當(dāng)物體是高反
光性的而使聚焦難于進(jìn)行時(shí)，此種方法特別有用。

  如果所有別的辦法都不能奏效，那么就可能不得不在試樣表面上添
加塵埃來(lái)幫助聚焦工作的進(jìn)行。在轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)焦控制器的同時(shí)，使試樣稍微
縱橫移動(dòng)有時(shí)也能幫助聚焦。當(dāng)需要大的工作距離時(shí)，必須采用低倍物
鏡或長(zhǎng)焦距物鏡。采用較高倍的目鏡雖能維持總的放大倍數(shù)不變，但可
能會(huì)損失分辨率

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