試件表面有鍍層樣品適合使用哪種顯微鏡測量

  如果試件表面全部都有鍍層，而鍍層透明時
仍可用干涉顯微鏡進行測量。這時在視場里可以看到二組干
涉條紋:一組由鍍層表面產(chǎn)生;一組由襯底表面產(chǎn)生。

由于表面反射系數(shù)差異，二組條紋襯度也有差別，因此很
容易測量

孔徑光闌的選擇

  孔徑光闌大小不但控制了視場亮度，而且控制了物鏡的
數(shù)值孔徑。光欄大，物鏡孔徑也大，鑒別率也高。但孔徑大
時，對儀器各部分要求也高，所以大孔徑時一般干涉條紋質(zhì)量

沒有小孔徑時好。故孔徑光闌不一定是開得愈大愈好，至少
不能大于物鏡的孔徑。即拿掉目鏡，用眼睛直接在目鏡管里

觀察時，孔徑光闌不能大于物鏡框的直徑，否則孔徑光闌發(fā)出
的光線不能進入物鏡，反而造成有害的雜亂光線。其次對于
測量▽10,▽11,▽12表面，孔徑光闌應適當縮小，以保證測
量深度范圍和提高條紋的對比。即使測量工件光潔度為▽13,
▽14，為了提高條紋的對比，也可以稍稍縮小孔徑光闌。

用目視估計方法測量表面光潔度

  用干涉顯微鏡測量光潔度，為了方便起見，往往采用目視
方法。估計干涉條紋的彎曲量為干涉條紋寬度的幾倍或幾分
之一，

(本文由上海光學儀器廠編輯整理提供, 未經(jīng)允許禁止復制,轉(zhuǎn)載須注明網(wǎng)址http://www.sgaaa.com)