形狀和表面粗糙度測量儀-光學輪廓儀的應(yīng)用簡介

  超精密形狀和表面粗糙度測量儀的開發(fā)在超精密加工工件表
面粗糙度的測量分析中。高分辨率的表面測量是必不可少的，對
于高分辨率的表面形狀測量儀器，測量時觸針的振動范圍是一個
非常重要的參數(shù)。如果觸針振動量越大，就更難以保證高的分辨
率。

  測量儀和測量的設(shè)定誤差在進行產(chǎn)品的加工過程中。由加工
設(shè)備產(chǎn)生的誤差是不能完全避免的。因此，在進行高精度的測量
時，正確掌握測量誤差的產(chǎn)生來源是非常重要的，只有這樣才能
得到真正的測量值，如前面所述的觸針前端形狀誤差等。

  測量結(jié)果的利用精密測量結(jié)果對超精密加工具有非常重要的
意義。以非球面鏡片模具的呻吟工為例，其加工過程在整個加工
過程中，對非球面模具的測量是非常重要的一項工作。從整個加
工流程來看，非球面模具的面形精度勢必獎影響最后的產(chǎn)品精度。
  前次測量的結(jié)果需要下次測量中考慮。

  光學輪廓儀光學聚集傳感器一大類稱為光學輪廓儀的設(shè)備取
代了使用機械探針的接觸式輪廓測量儀。這種設(shè)備利用光學聚集
傳感器來實現(xiàn)輪廓測量。

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