高精拋光或鏡面精加工樣品工業(yè)用表面粗糙度儀

  高精拋光或鏡面精加工表面，在用觸針式（接觸式）測量儀
器測量其粗糙度時，所遇到的問題恰恰是在高的靈敏度方面。表
面的輪廓圖形被觸針的抖動、振動以及外界的影響（如儀器的噪
聲）所歪曲。儀器的最小讀數(shù)也是一個對測量的限制因素，當(dāng)所
測表面的粗糙度值接近儀器最小數(shù)值時，基準(zhǔn)表面特性的影響變
成主要因素，工業(yè)用儀器所提供的信息大多數(shù)是測量表面微不平
度的高度，對于鏡面精加工表面，這種測量不能充分實(shí)現(xiàn)對其粗
糙度進(jìn)行實(shí)現(xiàn)的和恰如其分的評定。

  然而，當(dāng)測量很精細(xì)表面時，用一個精細(xì)的觸針和較高的數(shù)
據(jù)采樣率，觸針式儀器的限制可能減到最小，并可能獲得較好的
結(jié)果。但是，觸針尖端接觸壓力強(qiáng)度的提高會導(dǎo)致表面的損傷，
采樣點(diǎn)的過密會造成數(shù)據(jù)的相關(guān)聯(lián)的過，光學(xué)方法（非接觸型）
  不能單獨(dú)的給出這種表面完整的粗糙度的評定，它們多數(shù)是
測量表面的反射率、劃痕和溝槽的深度，而并非是表面的紋理結(jié)
構(gòu)。

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