電子視頻式顯微鏡精巧而效率應(yīng)用到微觀分析測量

  作為微電子技術(shù)環(huán)境控制的顯微手段，其測試儀器有從最簡
單的臺式顯微鏡到當(dāng)前使用的精巧而效率很高的各種儀器，而且
把放大和微觀分析都結(jié)合在一起了。

關(guān)于分析和檢驗儀器的討論來看，顯微法是觀察人員從各種線索
中得到信息的唯一方法。觀察人員可采舊很多方法進(jìn)行處理以獲
得所需信息；也可從最初的觀察中，看出各種情況和數(shù)據(jù)的相互
關(guān)系，從而決定采用哪一種有效方法。  顯微鏡和其它方法聯(lián)合
使用，在檢驗工作中往往是處在第一線的。

  由于引入了自動掃描系統(tǒng)和計算機(jī)的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，定量顯
微分析近年來日益重要。  在測量粒子大小的分布，樣品的其它
特性中更是如此。
  顯微技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展促使光學(xué)顯微鏡的數(shù)據(jù)自動處理，電
子束顯微鏡分辨率和分析靈敏度方面得到更大的改進(jìn)、在這新的
領(lǐng)域中，當(dāng)前首先要做的工作是將檢驗技術(shù)推進(jìn)到更先進(jìn)的水平
，使之能對微電子器件中很小的斑點(diǎn)進(jìn)行觀察，并獲得更高的分
析靈敏度。

焦質(zhì)譜儀進(jìn)行檢測和識別

質(zhì)量分析
  從試樣選出的離子按質(zhì)荷比用雙聚焦質(zhì)譜儀分類。質(zhì)譜是由
質(zhì)量范圍和控制信號強(qiáng)度進(jìn)行掃描而繪出的。

縱深剖面圖
  一方面用檢測器監(jiān)視某一同位素，另一方面腐蝕試樣，從而獲
得某一元素濃度的縱深剖面圖，該圖是以檢測器檢出作為腐蝕深
度的函數(shù)(同時也是時間函數(shù))而繪出的。
  在離子質(zhì)譜儀的制造中有兩種不同的設(shè)計方案：一種方案是
離子同時轟擊試樣大面積上的所有點(diǎn)，然后采用一定的方法分析

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