不同類型的顯微技術(shù)微電子產(chǎn)品檢驗的光學(xué)顯微鏡

  顯微技術(shù)幾種類型的顯微技術(shù)及其在微電子產(chǎn)品污染
檢驗方面的應(yīng)用。顯微技術(shù)在了解器件結(jié)構(gòu)及污染的內(nèi)在
關(guān)系方面已成為一種強有力的檢驗技術(shù)。它可以在微米級
范圍內(nèi)觀察器件表面存在的物體、各種顯微儀器可歸并為
兩類：一類是在整個焦平面內(nèi)同時顯像；另一類則是用被
聚焦的點在指定區(qū)域內(nèi)運動而產(chǎn)生圖像，光學(xué)顯微鏡和透
射式電子顯微鏡都屬于同時顯象一類，這里將首先加以討
論。

  光學(xué)顯微鏡照明光學(xué)

  光學(xué)顯微鏡是一種能迅速全面地觀察缺陷和雜質(zhì)粒子
的工具。用這種顯微鏡觀察雜質(zhì)粒子，往往直接就識別了，
并可找出粒子和缺陷間的關(guān)系及其產(chǎn)生的原因和效應(yīng)。反
射式和透射式照明系統(tǒng)在光學(xué)顯微鏡中都能使用

  光學(xué)顯微鏡具有一連串的透鏡：聚光鏡、物鏡和目鏡。

  在反射式照明系統(tǒng)中，物鏡還兼有聚光鏡的作用。不
論是反射光，還是透射光都有幾種照明形式：即亮視場、
暗視場、偏振光、相位反差以及干涉反差等。

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