數(shù)字式測(cè)量顯微鏡帶測(cè)微工作臺(tái)多種測(cè)量方式

  通常，用顯微鏡或者帶測(cè)微工作臺(tái)的十字標(biāo)線進(jìn)行測(cè)
量，現(xiàn)在已普遍使用數(shù)字式測(cè)量顯微鏡，也可在帶有標(biāo)尺
投影屏上或照片上測(cè)量。

  選擇適當(dāng)?shù)姆糯蟊稊?shù)使視場(chǎng)寬度為涂層厚度的1 分之
1/2 到3 倍，很薄的涂層應(yīng)采用最高放大倍數(shù)，要在沿試
樣長(zhǎng)度方向的若干個(gè)位置上測(cè)量涂層厚度并計(jì)算其平均值，
若厚度不均勻，應(yīng)作更多的測(cè)量，可以用測(cè)量值的標(biāo)準(zhǔn)偏
差來描述涂層的均勻性。

  一種評(píng)定涂層厚度的統(tǒng)計(jì)方法，粗涂層的厚度是由測(cè)
量涂層與基體間的界面到表面峰和谷之間中點(diǎn)的距離來確
定的，如要求測(cè)定最大和最小的涂層厚度，則必須掃視試
樣來找出這些部位，為獲得最佳精度。

  對(duì)用光學(xué)方法測(cè)量涂層厚度的精度進(jìn)行和詳盡研究表
明：厚度為8-480 μm 的平整涂層的實(shí)驗(yàn)室測(cè)量值偏差為
7%或者1.0 μm ；粗涂層的測(cè)量值偏差較大，其不確定性
為35% 或40μm ，大多數(shù)誤差來自校準(zhǔn)錯(cuò)誤，測(cè)量判斷或
測(cè)量裝置問題，而試樣制備不起重要作用。

  誤差來源的詳細(xì)分析，對(duì)每一種目鏡和物鏡的組合都
必須精確地確定放大倍數(shù)，測(cè)微器測(cè)量裝置或目鏡標(biāo)尺必
須用測(cè)微工作臺(tái)在各個(gè)放大倍數(shù)下進(jìn)行校驗(yàn)，指出：若有
15個(gè)操作者，在一個(gè)測(cè)微工作臺(tái)上用游絲測(cè)量顯微鏡測(cè)一
個(gè)固定間隔時(shí)在約495X和900X下測(cè)量值的散布為0.8%，單
個(gè)操作者的測(cè)量值散布則小得多。

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