表面的粗糙度的測(cè)量可使用光切顯微鏡-讀數(shù)顯微鏡

檢驗(yàn)儀用于檢核管水準(zhǔn)器的靈敏度

  將玻璃管安置在兩個(gè)棱鏡上，棱鏡固定在杠桿上，杠桿與反射
鏡連結(jié)。反射鏡的反射面垂直于自準(zhǔn)直儀的照準(zhǔn)軸。借助于尖頭螺
旋測(cè)量杠桿的傾斜度。 

  首先將玻璃管汽泡的一端和玻璃管上的起始分劃線(xiàn)重合，并在
掃準(zhǔn)儀視場(chǎng)內(nèi)觀測(cè)預(yù)先約定的零位。之后，移動(dòng)自準(zhǔn)直構(gòu)件，．使其
位移量相當(dāng)于水準(zhǔn)器格值的數(shù)值。當(dāng)汽泡穩(wěn)定之后，依玻璃管分劃
尺檢核汽泡位移的一致性。 

  檢核也可按相反的次序進(jìn)行，即當(dāng)精確地移動(dòng)汽泡玻璃管分劃
尺的一個(gè)分劃后，讀取距自準(zhǔn)直儀零分劃的結(jié)果。
當(dāng)要求特別高的精度時(shí)，其中包括對(duì)于長(zhǎng)度的測(cè)量，形狀的規(guī)
格性的檢核和表面的粗糙度的檢核及對(duì)于反射鏡小傾斜度的測(cè)量，
凡此種種測(cè)量工作中，均應(yīng)用著干涉型的儀器(干涉儀)。在干涉
儀中，可采用兩條或多條相干光束的干涉。有兩種應(yīng)用干涉方法的
可能，第一是根據(jù)干涉條帶的位移，測(cè)量直線(xiàn)的位移。很容易以
0．1的條帶寬度的精度來(lái)測(cè)量這個(gè)位移，也就是說(shuō)測(cè)量平面位移的
誤差達(dá)0．03微米。干涉的第二種應(yīng)用是借助于標(biāo)準(zhǔn)表面來(lái)檢核其它
表面的平面度。

  在測(cè)量實(shí)際中，基于測(cè)量條帶位移原理的干涉儀，得到最廣泛
的推廣。比如，根據(jù)條帶位移測(cè)定用來(lái)測(cè)定水準(zhǔn)器靈敏度的檢驗(yàn)儀
的反射鏡傾角。該方法的實(shí)質(zhì)就是以光波長(zhǎng)度根據(jù)測(cè)量直角三角形
小直角邊來(lái)測(cè)定小的傾角。

  假設(shè)認(rèn)為測(cè)量?jī)蓷l直角邊的誤差對(duì)測(cè)角精度的影響是等價(jià)的，
那么由于在干涉方法中被測(cè)量的角度值不超過(guò)2"，則測(cè)量長(zhǎng)直角邊
的誤差就可以測(cè)量小直角邊的誤差大1700倍。

近年來(lái)，在安裝和調(diào)校工藝設(shè)備時(shí)，垂高計(jì)得到廣泛應(yīng)用，當(dāng)
由于某種原因不可能用其它測(cè)量方法時(shí)，比如測(cè)量的物體位在真空
室內(nèi)、高溫室內(nèi)、具有很強(qiáng)軸射等等情況下，為了測(cè)量直線(xiàn)
尺寸都可應(yīng)用垂高計(jì)。

  垂高計(jì)的工作原理是利用望遠(yuǎn)鏡依次照準(zhǔn)被測(cè)量構(gòu)件的起、末
兩端，將被測(cè)構(gòu)件的尺寸和垂高計(jì)的作業(yè)尺進(jìn)行比較。任何垂高計(jì)
的原理圖都是由下列基本構(gòu)件組成：沿導(dǎo)軌移動(dòng)的照準(zhǔn)設(shè)備(通常
這種設(shè)備是望遠(yuǎn)鏡)，望遠(yuǎn)鏡整平設(shè)備(借助于水準(zhǔn)器或液體水平
及自準(zhǔn)直儀)、作業(yè)尺(分劃尺)和讀數(shù)設(shè)備(顯微鏡、錐形體和
放大鏡）

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