測量的自動化顯微鏡的微圖形圖像識別測量儀器

對微小缺陷進(jìn)行檢查的目的在于發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品表面的傷痕、異物
和形狀畸變等，以及那種具有潛在的缺陷，使得雖然現(xiàn)在尚能正
常工作，但可能以后會變壞甚至造成故障的產(chǎn)品．

在利用顯微鏡的微圖形測量中，首先是適應(yīng)于圖
形的微細(xì)化發(fā)展，滿足更嚴(yán)格要求的透鏡系統(tǒng)的研制取得了進(jìn)
展．與此同時，測量的自動化也在進(jìn)行，其目的不單是為了省力和
自動操作，而且起著提高精度和可靠性的作用，使以前被認(rèn)為是
不可能進(jìn)行的測量工作成為可能．

  今后，期望處理由這些光學(xué)系統(tǒng)得到的圖像信息的軟件系統(tǒng)
的研制工作能根據(jù)各方面的要求取得進(jìn)展．
微圖形的缺陷檢查和定位操作的現(xiàn)狀仍然是依賴于顯微鏡下
的目視操作．可是按目前的情況，生產(chǎn)線的速度在不斷提高，圖
案也更趨細(xì)微化，這就需要進(jìn)行超出人的目視能力所及的操作．
其結(jié)果是不斷發(fā)生缺陷的漏檢，同時定位精度也降低下來．因此
迫切要求在生產(chǎn)線上采用高速和精密動作的自動化裝置．但是由
于人的圖像識別能力非常高明，即使采用現(xiàn)在高度發(fā)展的計算
機(jī)技術(shù)，要想把人的運(yùn)算能力賦予機(jī)器還是很困難的．本節(jié)中所
介紹的幾種自動化裝置是用機(jī)器部分地代替人的圖像識別能力的
專用裝置．在機(jī)器只執(zhí)行確定功能的工作時，它是極為準(zhǔn)確而快速
的

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