(1)溫度分辨率

  探測器探測的溫度被校準(zhǔn)后，其典型溫度分辨率是0．2℃溫
度校準(zhǔn)是探測器的依據(jù)。探測器的溫度分辨率受傳感器電子噪聲限
制。
(2)空間分辨率

  掃描熱顯微鏡測量的空間分辨率依賴于樣品的特征。最好
的觀察分辨率是在半高寬(FWHM)150～200nm，作為磁數(shù)據(jù)儲存和讀
取元件的電子交叉磁阻條紋的測量。應(yīng)注意三個主要因素影響了溫
度梯度成像的空間分辨率；由于樣品原材料相對于熱源有熱絕緣的
背景特征，熱會在樣品表面?zhèn)鞑?；熱源空間的延伸；探針與所描繪
的相關(guān)表面的實(shí)際熱源的距離。
  具有最好的表面上的熱空間分辨率的樣品(因此，有最大
的熱梯度)，有小的熱源在熱絕緣底層，該熱源非常接近所描繪表
面。理想的樣品也能提供在線圈與探針傳感器之間合適的電絕緣。

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