相位檢測(cè)顯微鏡

  相位檢測(cè)顯微鏡(PDM)也指相位圖像術(shù)，是用于測(cè)量機(jī)械
的和化學(xué)的表面性質(zhì)，例如，彈性、黏性、摩擦力或黏彈性的一種
技術(shù)。當(dāng)儀器在任何振動(dòng)懸臂模式中操作時(shí)，可產(chǎn)生相位感測(cè)成像
，例如，非接觸式原子力顯微鏡、間斷接觸式原子力顯微鏡或磁力
顯微鏡模式。應(yīng)用力調(diào)制顯微鏡(FMM)可采集相位檢測(cè)信息。相位
檢測(cè)指的是對(duì)驅(qū)動(dòng)懸臂振動(dòng)的信號(hào)與懸臂振動(dòng)輸出信號(hào)之間的相位
延遲的監(jiān)視。相位延遲的變化反映了樣品表面機(jī)械特性的變化。

  常見的系統(tǒng)反饋回路的操作方式是，利用懸臂偏轉(zhuǎn)或振動(dòng)
的變化來測(cè)量樣品的外形。當(dāng)外形圖像成像時(shí)，監(jiān)測(cè)相位延遲，以
至外形圖像和原材料特性可同時(shí)被采集。相位檢測(cè)的一個(gè)應(yīng)用是可
獲得樣品材料特性的信息，這些樣品的外形測(cè)量用間斷接觸式原子
力顯微鏡比用接觸式原子力顯微鏡效果更好。
對(duì)于這些樣品，相位檢測(cè)對(duì)于用接觸式原子力顯微鏡測(cè)量外形
的力調(diào)制顯微鏡是
  一個(gè)有用的選擇。相位檢測(cè)顯微鏡對(duì)外形圖像提供了補(bǔ)充信
息，以鮮明的高度對(duì)比表面成像形
  式上，顯示了黏性標(biāo)注表面屬性的變化。此技術(shù)提供了0．1
度相位檢測(cè)的分辨率。

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