加工精度的評(píng)估

  在顯微機(jī)械加工中，對(duì)加工性能進(jìn)行評(píng)估有時(shí)很困難，尤
其在加工精度方面。鉆小孔是顯微機(jī)械加工中的最簡(jiǎn)單的典型例子
。然而，如果物體上孔的直徑小于0．5mm，深度大于lmm，那么測(cè)
量?jī)x器制造商就不能提供合適的尺寸測(cè)量方法。

  由于最近的應(yīng)用經(jīng)常需要孔的直徑為100／μm或50μm，
對(duì)于測(cè)量?jī)?nèi)部尺寸技術(shù)的發(fā)展，例如，測(cè)量孔的尺寸，在生產(chǎn)技術(shù)
中是迫切的需要。然而，對(duì)于小尺寸物體的測(cè)量，物體固定的誤差
常常強(qiáng)烈地影響測(cè)量結(jié)果。
  這些導(dǎo)致了在加工中對(duì)測(cè)量的需要(OMM)。OMM是指其測(cè)量
的執(zhí)行不需要從加工小孔的機(jī)床上從夾緊位置移動(dòng)物體。在OMM中
，從加工到測(cè)量的完成沒有較大的誤差產(chǎn)生。

  另一方面，用于測(cè)量的工具必須安裝在機(jī)床上，因?yàn)樵?M
M中，加工系統(tǒng)和測(cè)量系統(tǒng)之間坐標(biāo)的應(yīng)用是基本的。因?yàn)樵跈C(jī)床
和測(cè)量裝置之間的部件需要較寬的設(shè)計(jì)間隙，所以這種類型的安裝
通常較困難。
  最近開發(fā)的測(cè)量技術(shù)稱為振動(dòng)掃描(VS)方式。在某些應(yīng)用
方面能夠提供這個(gè)問題的解決辦法。

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