軸上色差(中心色差)

軸上色差是由于加速電壓或透鏡激勵(lì)電流改變，引起磁透鏡焦距變
化而產(chǎn)生的。當(dāng)物點(diǎn)在軸上時(shí)，由于電子速度不同

放大色差
磁透鏡中，當(dāng)物點(diǎn)不在軸上時(shí)，由于焦距的變化，而引起放大倍數(shù)
的不同，這種像差叫放大色差。一般表現(xiàn)為圖像中心部位清晰，邊緣處
模糊，這種現(xiàn)象在低倍率及觀察厚樣品時(shí)尤其明顯。放大色差是由于電
子束在穿過標(biāo)本時(shí)，損失的能量不同，導(dǎo)致穿透樣品后的電子速度不同
而產(chǎn)生的。因而在觀察電鏡標(biāo)本時(shí)，應(yīng)盡可能采用薄樣品，一般不超過
80～100 nm。若觀察厚樣品則應(yīng)采用高電壓。

旋轉(zhuǎn)色差
磁透鏡中，由于磁場的影響，象轉(zhuǎn)角隨高壓和透鏡電流的波動(dòng)而波
動(dòng)，引起旋轉(zhuǎn)色差。象的旋轉(zhuǎn)方向與磁場方向有關(guān)，故電鏡中物鏡及投
影鏡的磁場方向應(yīng)該相反，便可適當(dāng)?shù)匮a(bǔ)償旋轉(zhuǎn)色差，若在觀察中發(fā)現(xiàn)
旋轉(zhuǎn)色差嚴(yán)重，應(yīng)檢查物鏡電流方向是否正常。四、象散

電磁透鏡的象散(astigmatism)是由于透鏡中極靴的機(jī)械不對稱或
極靴材料導(dǎo)磁率不均勻而引起透鏡磁場不對稱所致，結(jié)果造成物點(diǎn)的像
產(chǎn)生兩條焦線，形成模糊像。按理論計(jì)算，極靴內(nèi)孔精
度AR應(yīng)為0．028μm，平面精度也要求達(dá)到相似值，目前還沒有適當(dāng)?shù)?br>方法可以達(dá)到這樣高的精度。為此，人們研制一套消象散裝置進(jìn)
行校正，消象散裝置分機(jī)械和電磁式兩種。存電鏡觀察前必須對象散進(jìn)
行校正，以滿足分辨本領(lǐng)的要求。