HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列
上海伯東美國 HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列是專為最苛刻的真空環(huán)境而設(shè)計. 真空閘閥 71000 系列由堅固的不繡鋼剛坯在 1100 C, 1x10-6 mbar 條件下加工成形, 真空閘閥兩側(cè)密封的門上雙密封設(shè)計, 閥門內(nèi)部幾乎沒有移動部件, 最大限度減少粒子的生成. 免維護設(shè)計(不繡鋼波紋管與工藝過程分離). 適用于 MOCVD, ALD, PECVD 等典型的嚴酷的應(yīng)用. 
HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列特性:
易于系統(tǒng)集成, 幾乎滿足所有應(yīng)用
不繡鋼波紋管與工藝過程分離 - 免維護
真空閘閥堅固的雙重密封設(shè)計和低粒子
使用壽命 250,000 cycles 啟閉次數(shù)
高壓和機械加工的不銹鋼閥體
真空閘閥口徑 DN 50-200 mm
手動或氣動控制
標(biāo)準(zhǔn)法蘭口 KF, ISO, CF, ANSI, JIS 或客戶定制
真空閘閥最大烘烤溫度 250 C
全部美國設(shè)計, 制造, 組裝, 原裝進口
HVA 長壽命嚴厲過程真空閘閥 71000 系列參數(shù):