美國 HVA 三位真空閘閥 21700 系列
HVA 三位真空閘閥 21700 系列適用于刻蝕、 CVD、真空鍍膜和其他需要壓力控制工藝的行業(yè)。HVA 三位真空閘閥與上游質(zhì)量流量控制器一起使用時，提供異常壓力控制功能，該真空閘閥也適用于從粗真空到高真空的平穩(wěn)過渡。HVA 三位真空閘閥采用兩個氣動電磁閥和一個空氣壓力調(diào)節(jié)器控制閥門的3種開啟方式：一個電磁閥控制閥門的完全關(guān)閉和完全開啟，另一個電磁閥用于控制和調(diào)節(jié)閥門的任意開啟位置。21700 系列三位真空閘閥廣泛應(yīng)用于低溫泵、渦輪分子泵、離子泵及其他對清潔度要求高、低除氣的高真空行業(yè)。.
HVA 三位真空閘閥 21700 系列產(chǎn)品特點
1. 機械預(yù)設(shè)、遙控過渡閥位
2. 三個位置都有指示器
3. 標(biāo)準(zhǔn)或者定制法蘭
4. 至少一百萬使用周期
5. 任意位置安裝
HVA 三位真空閘閥 21700 系列技術(shù)參數(shù)：