產(chǎn)品信息：

◆主體材質(zhì)采用進口航空鋁，在保證穩(wěn)定性的同時，保證線性移動精度

◆位移部分采用精密加工燕尾槽，采用分離式燕尾，可以保證位移精度

◆整體驅(qū)動采用手輪驅(qū)動，雙頂絲設(shè)計，保證穩(wěn)定性

◆匹配多功能調(diào)節(jié)夾具，可以180°旋轉(zhuǎn)+60°定向傾斜，適用于在顯微鏡下定向調(diào)節(jié)探針，不阻擋視野

◆底部超強可調(diào)磁性底座，可以通過旋鈕調(diào)節(jié)磁力的有無，磁性吸附5Kg，保證了整個系統(tǒng)的穩(wěn)定性

技術(shù)參數(shù)：

◆探針位移行程：XYZ三維分別13mm+180°旋轉(zhuǎn)+任意角度傾斜

◆整體結(jié)構(gòu)外形尺寸：170mm×45mm×80mm（LWH）

◆探針整體位移精度：10μm

◆漏電精度：同軸線纜（10pA）

            進口三同軸線纜（100fA）

◆可選接頭：同軸線纜可選擇BNC、鱷魚夾、香蕉插頭

            進口三同軸線纜只能選擇三同軸接口(Triaxial)

◆測量范圍：電流：10pA/100fA-10A

            電壓：≤1000V

◆適用于R/F量測、I/O點量測、直流DC測試 、晶圓測試、電阻電壓測試、太陽能電池測試、光電流測試、半導體器件分析測試等