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浙江實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)建設(shè)VOLAB
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產(chǎn)品: 瀏覽次數(shù):867浙江實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)建設(shè)VOLAB 
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最后更新: 2019-05-28 17:29
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  供氣系統(tǒng):簡單供氣系統(tǒng)、常規(guī)供氣系統(tǒng)、大宗特氣供氣系統(tǒng)。

  簡單輸送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板;配置繼電器控制,自動(dòng)切換,手動(dòng)吹掃,手動(dòng)放空,有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng)和單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房,甚至沒有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道,或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。

  常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠,50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線,發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻,系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單,節(jié)省投資。

  大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)(BSGS)采用全自動(dòng)PLC控制器,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換,自動(dòng)氮?dú)獯祾?,自?dòng)真空輔助放空;多重安全防護(hù)措施,泄漏偵測(cè),遠(yuǎn)程緊急切斷;專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊?。特種氣體采用獨(dú)立氣源,多用點(diǎn)采用VMB或VMP分路供應(yīng),VMB或VMP采用支路氣動(dòng)閥,氮?dú)獯祾?,真空輔助排空等。

  實(shí)驗(yàn)室集中供氣的優(yōu)點(diǎn):

  1、保持氣體純度;

  2、不間斷氣體供應(yīng),系統(tǒng)可以以手動(dòng)方式和自動(dòng)方式在氣瓶之間進(jìn)行切換,保證氣體連續(xù)供應(yīng)

  3、低壓警示,當(dāng)氣壓低于警報(bào)限時(shí),報(bào)警裝置可自動(dòng)啟動(dòng)報(bào)警

  4、氣體壓力穩(wěn)定,系統(tǒng)采用兩級(jí)減壓方式供氣,可得到非常穩(wěn)定的壓力

  5、高效率,通過供氣控制系統(tǒng),可充分使用氣瓶中的氣體,減少殘氣余量,降低用氣成本

  6、操作簡便,所有氣瓶存放在同一位置,減少搬運(yùn)安裝的操作,節(jié)約時(shí)間和成本費(fèi)用

  7、減少氣瓶的租金,采用集中供氣,可減少對(duì)氣瓶數(shù)量的要求,從而節(jié)省氣瓶的租用成本

  8、無氣瓶在實(shí)驗(yàn)室,可提高安全性、提高安全感、節(jié)省實(shí)驗(yàn)室操作空間

  9、方便檢查和維修

浙江實(shí)驗(yàn)室供氣系統(tǒng)建設(shè)VOLAB

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