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等離子體刻蝕 NRE-4000型RIE-PE刻蝕機
NRE-4000型RIE-PE刻蝕機概述：NRE-4000是一款獨立式PE刻蝕RIE刻蝕一體機，配套有淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口：一個帶有2的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持至大到12的晶圓片。腔體為超凈設計，并且根據(jù)配套的真空泵可以達到10-6Torr 或 		2025-01-23
反應離子刻蝕 NRE-3500型RIE-PE刻蝕機
NRE-3500型RIE-PE刻蝕機概述：獨立式RIE刻蝕PE刻蝕一體機，淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口：一個帶有2的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持至大到12的晶圓片。腔體為超凈設計，并且根據(jù)配套的真空泵可以達到10-6Torr 或更小的極限真空。該系 		2025-01-23
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