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磁控濺射鍍膜機(jī) NSC-3500（A）全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)
NSC-3500（A）全自動(dòng)磁控濺射系統(tǒng)概述：帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能，可達(dá)到6旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，支持到3個(gè)偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達(dá)10-7Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6Torr的真空。通過(guò)調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。NSC-3500（A）帶有14”立方形不銹鋼腔體，3個(gè)2”
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2025-01-23 |
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磁控濺射儀 NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機(jī)
NSC-4000Sputter磁控濺射鍍膜機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn)：不銹鋼，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔70，250或500 l/s的渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵13.56MHz，300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源晶振夾具具有的1 ?的厚度分辨率帶觀察視窗的腔門易于上下載片基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制帶密碼保護(hù)功能的多級(jí)訪問(wèn)控制完全的安全聯(lián)鎖
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2025-01-23 |
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